中古 PERKIN ELMER / WALLAC Trilux Microbeta 1450 #195143 を販売中

PERKIN ELMER/WALLAC Trilux Microbeta 1450は、最高レベルの性能と信頼性を念頭に設計された最先端のウェーハ加工装置です。3軸、高精度、空気作動式のウェーハ搬送ロボットを搭載し、信頼性の高い正確なウェーハ位置決めとハンドリングを実現しています。このロボットは、XYとZの両方の面でウェーハの回転を可能にするようにユニークに設計されています。この機能は究極の柔軟性を提供し、システムをさまざまなアプリケーションに使用することができます。さらに、ロボットは速度を犠牲にすることなく、正確な正確さと動きの再現性を確保するために最適な速度で移動するようにプログラムすることができます。WALLAC Trilux Microbeta 1450には、複数の加熱独立ゾーンを使用した高度な熱処理ステーションが装備されています。また、専用の表面取得ステーションで設計されており、チャック温度の自動調整やRFパワーやバイアスなどの処理パラメータを可能にします。この機能は、優れた均一性と生産性を達成すると同時に、コストを削減するのに役立ちます。さらに、PERKIN ELMER Trilux Microbeta 1450は、正確で自動化された液体分注ステーションを提供し、液体化学物質の信頼性と再現性の高い分注を実現します。この機能により、ケミカルエッチング、表面処理、コーティングなど、幅広いウェットプロセスに使用できます。最後に、Trilux Microbeta 1450は、ビジョン強化された精度検査を備えており、包括的なウェハ品質管理のための決定的な結果を提供します。PERKIN ELMER/WALLAC Trilux Microbeta 1450は、ハイスループットおよび高精度操作のための理想的な他のウェーハ加工機です。ロボットウェハトランスファー、高度な熱処理ステーション、液体分注ステーション、視認性の高い精度検査は、すべて最高の信頼性で優れた結果を提供することに貢献しています。このツールは、半導体や電子機器の製造、太陽光発電、バイオメディカルエンジニアリングなど、さまざまな業界のアプリケーションに適しています。