中古 PBT Miniclean #9313059 を販売中

PBTミニクリーン装置は、半導体ウェーハ上の集積回路を開発・製造するための安全で信頼性の高い経済的な方法を提供する、完全に自動化された高精度のウェーハ洗浄システムです。このユニットは、洗浄前ステーション、加熱された単段スプレー洗浄ステーション、洗浄後ステーションで構成されています。事前洗浄ステーションでは、着信ウェーハを洗剤溶液であらかじめ洗浄した後、脱イオン水で洗浄することで、表面から粒子状の粗い破片を除去します。加熱された単段スプレー洗浄ステーションでは、ウェーハは特定の温度でエッチング剤または洗浄剤にさらされます。これは数分間行われ、用途に応じて様々なエッチング剤が使用されることがあります。エッチング処理後、ウェーハを温度に上げ、洗浄剤と残りの粒子状物質をウェーハ表面から完全に洗い流すことができます。最後に、ポストリンスステーションはウェーハの乾燥に使用されます。Minicleanはまた、ウェーハの正確な位置決めのためのユニークなロボットウェーハハンドリングマシンと簡単に処理するための統合されたウェーハローディング/アンロードステーションを備えています。ロボットツールは、機器の故障による事故からオペレータを保護するための安全連動アセットと、洗浄剤をリサイクル、フィルター、蒸留する汚染制御モデルを備えており、使用率の向上を図っています。また、必要に応じてクリーニングチャンバー圧力を変更するための真空システムと、クリーニングプロセス中に発生する欠陥を検出して文書化するための特別なウエハモニタリングユニットも備えています。機械は手動、半自動、またはフルオートモードによって作動し、温度、洗浄時間、洗浄化学などのプロセスパラメータを完全に制御できます。PBT Minicleanをクラス最高のプロセスレシピと統合することで、オペレータは欠陥のない洗浄と運用コストの削減を実現できます。さらに、そのユーザーフレンドリーなデザインは、簡単なインストールとメンテナンスを可能にします。このツールは、クリーンルーム環境に適しており、マスキングやスクラブ、エッチング、化学/機械研磨など、さまざまなウエハ加工アプリケーションで使用できます。