中古 PBT Fluxclean #9303671 を販売中
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PBT Fluxcleanは、ウェーハ表面の化合物を洗浄して堆積させるために設計されたウェーハ処理装置です。このシステムは、片面フラックス洗浄、両面フラックス洗浄、片面フラックス塗装、両面フラックス塗装、高温フラックス塗装など、複数の用途に対応できます。Fluxcleanユニットは、プロセスチャンバー、カセットラック、ロボットアーム、およびマイクロプロセッサで構成されています。プロセスチャンバーは、ウェーハを保持し、温度、圧力、湿度、ガス濃度などの環境パラメータを制御するように設計されています。カセットラックには、さまざまなプロセスの試薬が含まれています。ロボットアームはプロセスチャンバー内と外側にウェーハを移動します。マイクロプロセッサは、機械の全体的な動きと動作を制御します。片面および両面のフラックス洗浄プロセスは、エチルアルコールなどのフラックス洗浄剤を使用してウェハの表面を洗浄します。試薬をウェーハ表面に塗布し、乾いた清潔な布で拭き取ります。フラックスコーティング工程は、ウェーハ表面に薄いコーティングを施し、酸化、腐食、摩耗から保護します。このプロセスは通常、洗浄プロセスよりも高い温度で行われます。PBT Fluxcleanツールは、さまざまなウェーハ処理ニーズに対応する便利で信頼性が高く、費用対効果の高いソリューションです。この資産は使いやすく、安全で、一貫した結果をもたらします。さらに、ウェーハあたりの試薬は比較的少ないため、経済的です。これは、プロセスに関連する廃棄物とコストを削減するのに役立ちます。さらに、ロボットアームは正確な動きが可能であり、ウェーハ表面のわずかな変動も検出できるため、装置は非常に正確です。これらの理由から、Fluxcleanシステムは、さまざまなウェーハ処理アプリケーションに最適です。
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