中古 OMEGA CN-9000A #123431 を販売中

OMEGA CN-9000Aは多機能ウェーハ加工装置で、様々な用途のニーズに合わせて様々な機能を提供します。最大5種類のウェーハ搬送・加工モジュールを制御できるコントローラを搭載し、最適な生産を実現するために必要な機能を発揮します。半導体、薄膜製造工程向けに設計されており、シリコン、窒化物、ポリシリコンなどの材料の加工、ミクロンスケールの基板薄化が可能です。このマシンは、最大200mmまでの8つのベアウェーハを一度に処理することができ、トータルプロセス速度は1時間あたり最大1,400ウェーハです。最大ウェーハ厚は6mm、最小厚みは150ミクロンです。高精度の6軸ロボットアームを搭載し、幅広い精密加工が可能です。さらに、クリーニング、研磨、コーティングなどの特殊な加工ツールに対応できる4つの独立したクラスタモジュールも装備しています。CN-9000Aは、ユーザーが生産プロセスをカスタマイズできる幅広い機能を提供しています。これは、化学機械平坦化（CMP）、プラズマ強化蒸着（PECVD）、イオン注入、熱処理など、さまざまな用途に使用するために設計されています。また、シリコン、チタン、金属、合金など幅広い素材に対応可能です。OMEGA CN-9000Aは、正確かつ一貫した生産を保証するために、ウェーハおよびオペレータの安全性を確保するための多くの安全機能を備えています。このツールは、工場レベルの衝撃および振動検出アセット、ならびにさまざまなモデルの故障を検出できる他の組み込みの安全機能を備えています。装置にまた高いレベルの精密および正確さを提供する自己診断および検出の特徴のフルレンジがあります。全体として、CN-9000Aはさまざまなアプリケーションのニーズに対応するさまざまな機能と機能を提供する堅牢で信頼性の高いウェーハ処理システムです。半導体・薄膜製造工程向けに設計され、最大5種類のウエハ搬送・加工モジュールを制御できるコントローラを搭載しています。さらに、オペレータの安全と一貫した生産を確保するために、さまざまな安全機能が装備されています。