中古 NEWTECH WAVE HSC650 #9282772 を販売中

NEWTECH WAVE HSC650は、先進的な半導体研究開発を目的としたハイエンドのウェーハ加工装置です。HSC650は、高度なリソグラフィ、薄膜成膜、エレクトロケミカルエッチング、イオン注入機能を備えたフル機能のウェハ処理システムです。このユニットは、自動化とワークフローを改善するためのプロセス制御システムとソフトウェアツールと自然に統合されています。高度なリソグラフィのために、NEWTECH WAVE HSC650には、高精度で安定したレーザーマスクライターと、非常に細かいライン機能を備えたパターン化された特徴を書き込むように設計された高度なスキャニング電子ビーム（SEB）コラムが装備されています。このマシンは光学機能とオーバーレイ機能が強化されているため、ウェーハ上でオーダーされた高い対称パターンを作成するのに理想的です。薄膜層の堆積のために、このツールは正確な均一性を持つサブピクセルレベルの分解能を提供し、複雑な層構造を完了するのに適しています。この資産には、4-in-1ダイレクトライトデポジションが標準装備されており、PVD、 ALD、 MBE、およびGBPAプロトコルを提供しています。また、HSC650はエレクトロケミカル処理機能を備えているため、複雑な3Dパターンやウエハ表面の機能的特徴の製造に適しています。また、精度とプロセスの安定性を確保するための可変速度制御を備えたイオン注入機能を備えています。NEWTECH WAVE HSC650のすべての機能は、環境に優しい設計に組み込まれています。全体として、HSC650は高度な半導体の研究開発の境界を押し上げるために設計された高度なウェーハ処理ユニットです。汎用性と精度の高いリソグラフィ、成膜、エッチング、インプラント機能により、このマシンは最先端の製品を生産するための完璧なプラットフォームを提供します。