中古 MODICON M100D #9058165 を販売中

MODICON M100Dは、さまざまなシリコンベースのコンポーネントに最高レベルの精度とスピードを提供するように設計された中型の多目的ウェーハ処理装置です。その効率的で信頼性の高い動作により、メモリ技術、高出力の太陽光発電デバイス、マイクロプロセッサなど、幅広い用途に最適です。M100Dは4つのウェーハ処理ステーションを備えており、最大4つのウェーハの同時処理が可能です。ステーションは、酸エッチング、ウェットエッチング、ドライエッチング、リアクティブイオンエッチング（RIE）、プラズマエッチング、熱処理、スパッタ成膜など、さまざまなプロセス操作を実行するように構成できます。また、200°Cまでの高精度温度制御、+-200ボルトまでの高電圧制御、高精度の気体分布、自動ウェハハンドリングユニットも搭載しています。再現性、正確性、信頼性の高い結果を保証するために、MODICON M100Dは堅牢な真空チャンバーを使用しています。このチャンバは、粒子発生の低減と歩留まりの改善により、迅速かつ信頼性の高いサイクルタイムに最適化されています。そのユーザーフレンドリーなグラフィックインターフェイスは、簡単な操作とメンテナンスを可能にし、直感的なセットアップと監視プロセスは操作を簡素化します。汎用性の高いウェーハ処理機能に加えて、M100Dには高度な監視システムも含まれており、重要な処理パラメータの包括的な監視と分析を提供し、最高品質の結果を保証するリアルタイムのアクションを可能にします。また、重要な処理パラメータを記録および保存し、安全な表示と制御のためにリモートからアクセスできる統合情報マシンも備えています。MODICON M100Dは、多様なプロセスパラメータと信頼性の高い正確な操作を組み合わせた幅広いアプリケーションの要求に応えるスケーラブルな生産オプションを提供します。ユーザーフレンドリーな機能、高度な診断ツール、信頼性の高いサイクルタイムと組み合わせることM100D、多くの高度なウェーハ処理アプリケーションにとって効果的なソリューションです。