中古 MKS Revolution Series #9103292 を販売中

MKS Revolutionシリーズは、他のウェーハ処理用の完全な統合生産プラットフォームです。プロセス制御とプロセス統合のために設計されたRevolution Seriesは、今日の進化しているウェーハ処理のニーズを満たすために、さまざまな構成で優れたパフォーマンスと信頼性を提供します。最新のハードウェア、ソフトウェア、テクノロジーを組み合わせることで、MKS Revolution Seriesプラットフォームは、他のすべてのウェーハ処理アプリケーションにエンドツーエンドのプロセス制御を提供します。Revolutionシリーズは、ウェーハの最先端の生産のための統合された高温急速熱処理（RTP）チャンバーを備えています。このプラットフォームは、非常に正確なウェーハ処理条件と最大スループットを必要とするアプリケーションに比類のない精度と信頼性を提供します。高精度なデータキャプチャとプロセス実行機能により、ウェーハプロセスパラメータとパフォーマンスをリアルタイムで監視できます。MKS Revolutionシリーズは、プロセス最適化のための高度な機能も提供します。マルチセンシングプロセス監視システムは、さまざまなプロセスパラメータを正確かつ包括的に制御します。Revolutionシリーズには、迅速で信頼性の高いウェーハ操作のための高度なメモリ管理機能が含まれています。高度な温度制御メカニズムにより、プロセス温度を正確に制御することができ、プロセス中のすべてのウェーハで厳しい温度均一性を実現します。さらに、MKS Revolutionシリーズには、高度なプラズマエッチング、レーザーアブレーション、マスキング処理用の高出力RFジェネレータモジュールが搭載されています。高速スイッチングRF電源により、最大20MHzのリアルタイム電力調整が可能で、プロセス制御の最適化とウェーハ性能の最適化に役立ちます。Revolutionシリーズは、さまざまなレンズとステージを備えた独自の高精度オプティクスツールセットを備え、ウェーハ加工時の正確なアライメントを実現します。統合された低消費電力レーザーは、優れたウェーハエンゲージメント精度と高精度パルス制御を提供します。ウェハハンドリングと処理システムを組み合わせることで、最高品質のパフォーマンスを実現します。MKS Revolutionシリーズは、最新の高性能ウェーハ加工に最適なプラットフォームです。その強力な機能は、プロセスの安定性とウェーハ処理アプリケーションの究極の制御を提供します。堅牢な設計と高度な機能により、Revolution Seriesは他のウェーハ処理においてより高い歩留まりと低い所有コストを実現します。