中古 MKS FI80132 #293628188 を販売中

MKS FI80132は、半導体・MEMS製造に使用される高性能の自動ウェーハ加工装置です。このシステムは、さまざまな環境でウェーハを迅速に処理するように設計されており、PECVDやALDなど多くの製造技術をサポートしています。FI80132ユニットには、直径300mmのウェーハキャリア、スライドアウトウェーハカセット、300mmウェーハロックが装備されています。多様な製造要件に対応できる、汎用性の高い高性能マシンです。このツールは真空バケットを使用して、処理用のウェーハの位置と位置を特定します。プログラム可能なx-yウェーハステージを使用して、複数のプロセスステーション間でウェーハバッチを移動します。これにより、大量のウェーハを短時間で迅速に処理できます。この資産には、バーコードスキャンやパターン認識など、いくつかの自動機能が装備されています。これにより、ウェーハの手動処理が削減され、効率が向上します。さらに、高度な大気と温度パッケージのおかげで、高いプロセス温度が維持されます。また、自動パージ/クリーンプロセスを採用し、優れた洗浄効率を実現しています。また、大型加工経路に沿って高速で信頼性の高い搬送を提供する高度なウェーハ搬送システムを搭載しています。MKS FI80132は、25mTorrのベースプレッシャーを適切に設定することが可能な超高真空ユニットです。これは、プロセスを損傷する可能性のある粒子の形成を防ぐために重要です。高度なガスマシンとガスフローコントローラは、粒子汚染の可能性をさらに低減します。このツールには、プロセスターゲットを検出/識別するための赤外線およびレーザーシステムのフルレンジを含む複数のプロセスモニタリングシステムも装備されています。これは、効率的な分析と制御を可能にする粒状のプロセス追跡を提供します。全体として、FI80132は、効率的で信頼性の高い半導体およびMEMS製造を容易にするように設計された自動ウェーハ処理資産です。バーコードスキャン、パターン認識、パージ/クリーニングプロセス、ガスフローコントローラ、プロセスモニタなど、さまざまな先進技術を取り入れた革新的なモデルです。この機能の組み合わせにより、処理の効率が大幅に向上し、市場投入までの時間が短縮され、コストが削減されます。