中古 MKS FI 80131 #9165072 を販売中

MKS FI 80131は、MKSインスツルメンツが開発したウェーハ加工装置です。この自動ウェーハ処理システムは、処理されるウェーハごとに信頼性の高い再現可能な性能を提供するように設計されています。一体型の設計により、1台のロボットで各ウェハスタックをロードポートから処理チャンバに搬送できます。トランスファーアームは、チャンバのプロセス領域内の各ウェーハを自動的に配置し、ウェーハのサイズ、材質、厚さに基づいてプロセスパラメータを正確に決定できます。MKS FI80131のチャンバーには、一貫した均一なウェーハコーティングのための最適な条件を提供する高圧化学蒸着（CVD）ユニットが装備されています。ポンプダウン速度は、さまざまなプロセス要件に合わせて調整可能で、圧力モードと真空モードの両方で操作できます。さらに、チャンバーの温度範囲は-20°Cから+400°Cまで調整可能で、酸化、窒化、アニール、拡散などの幅広いプロセスに適しています。このマシンはまた、完全に自動化されたアイソレーションバルブ（IPV）ツールを備えており、チャンバー内の閉じ込められたガスをすばやく大気に戻すことができる安全機能です。IPV資産はまた、チャンバーに事前に決定されたガス量の導入を容易にし、再現可能な厚さの正確に定義された層の形成を可能にします。ウェーハ層の品質と均一性を最大限に高めるために、このモデルには、すべてのプロセスパラメータを完全に制御できる高度なソフトウェアパッケージが装備されています。このソフトウェアを使用すると、プロセスレシピの保存、セットポイントの調整、ウェーハの温度、圧力、ポンプダウン速度の監視が簡単に行えます。また、リアルタイム監視とロギング機能により、ウェーハ層ごとに温度、圧力、蒸着速度などの重要なチャンバー条件を記録することができます。アカデミックおよび産業用ウェーハ製造環境での使用に最適なFI 80131は、信頼性と操作が容易です。革新的な設計と統合されたソフトウェア機器により、最高レベルのウェーハ層の一貫性と品質が保証され、あらゆるウェーハ処理アプリケーションに最適です。