中古 MKS AX 7685-33 #293640014 を販売中

MKS AX 7685-33
ID: 293640014
Remote Plasma Source (RPS).
MKS AX 7685-33は、複雑で精密な電子デバイス製造用に設計された最先端のウェーハ加工装置です。高度な処理技術とソフトウェアアプリケーションを活用し、サブミクロメータの精度で高精度なウェーハ処理を可能にします。このシステムは、シリコンウェーハやガリウムヒ素(GaAs)などのさまざまなウェーハ材料をサポートしています。これは、処理速度、温度、圧力を最適化および監視するための統合制御ユニットを備えており、一貫した信頼性の高い結果を得ることができます。このユニットは複数のウェーハを同時に処理することができ、より迅速かつ効率的な生産を可能にします。AX 7685-33にはモジュラー半導体パッケージが搭載されており、ダイアタッチヘッド、ダイボンディングヘッド、ウェーハヒートシンクなど、さまざまなコンポーネントが搭載されています。また、バッチ処理、データロギング、その他の機能を管理する高度な機械制御およびソフトウェア用の内蔵リアルタイムコンピュータを搭載しています。このツールは、デポジット、エッチング、エッチングクリーンウェーハ、およびアタッチおよびパッケージVLSIチップを使用できます。高精度なダイアタッチヘッドは、アライメントエラーを最小限に抑えて各ダイを配置、整列、検査できます。アセットのミニチュアノズル設計は、より細かい粒子での使用に適しており、精密な材料沈着が可能です。さらに、デュアルジェット、パラレルエッチング機能により、エッチング速度が向上し、過剰な加熱によるウェーハの損傷を大幅に低減できます。このモデルには、安全インターロック、自動ガス制御、圧力換気などのさまざまな安全機能が装備されており、ほこりの汚染やその他の安全上のリスクに対する保護を提供します。この機器には、監視、診断、およびプロセスパラメータの制御のためのさまざまなツールとソフトウェアも含まれています。さらに、システムの直感的なヒューマンマシンインターフェースは、複雑なプロセスの管理と制御を支援します。要約すると、MKS AX 7685-33は高度なウエハー処理ユニットで、複雑で困難な処理を精度と信頼性で処理することができます。その高度なソフトウェア、安全プロトコル、および制御インターフェイスは、大規模および小規模のウェーハ生産に最適です。
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