中古 MKS ASTeX FI20620-1 #9204070 を販売中

MKS FI 20620-1は、ウェーハのハイスループット処理を可能にするその他のウェーハ加工装置です。このシステムは、ウェーハの薄型化、材料沈着、ウェットおよびドライエッチング、パターニングおよび表面処理など、さまざまな用途に対応するモジュール式の自動プラットフォームです。MKS FI20620-1が提供する効率的な設計と高度なプロセス制御技術により、これまでにないレベルのスループットと信頼性を実現します。FI 20620-1は、所望の処理の様々なステップのためのチャンバーのシリーズを含んでいる統合ユニットです。ハイエンドコントローラ、モーションコントロールパック、および特定のアプリケーションのニーズに合わせてカスタマイズ可能な一連の処理モジュールで構成されています。また、高付加価値の真空ポンプステーションをユニットと統合し、プロセスチャンバーの効率的な避難を確保しています。FI20620-1独自の設計により、ウェーハ加工のハイスループットを実現しています。機械は部屋間の急速な物質的な移動のために設計されています。さらに、プロセス設定は、所望の出力に基づいて微調整することができます。これは、高度なダイツダイフィードバックを採用することによって可能になります。これにより、指定されたパラメータが処理全体にわたって正確に維持され、高品質の製品が得られます。MKS FI 20620-1のモジュール設計は、ユーザーがニーズに応じてツールをカスタマイズできるため、利点です。これにより、ユーザーは、必要なアプリケーションに必要な光学、物理、化学プロセスの適切な組み合わせを選択することができます。さらに、このアセットには、ユーザーがモデルの機能とパフォーマンスを監視できる多数の診断機能が装備されています。最後に、装置はユーザーに高い安全性と信頼性を提供します。ウェーハハンドリングシステムは、最高の安全基準に認定されており、ユニットの動作が処理されたウェーハの汚染または損傷のリスクから解放されることを保証します。さらに、このマシンは、エラー、事故、および誤動作から保護する多数の組み込みの安全メカニズムを備えています。要約すると、MKS FI20620-1は信頼性が高く、効率的で高スループットのその他のウェーハ処理ツールです。高度なコントローラとモーションコントロールパックを搭載し、ウェーハ加工時の高い柔軟性と精度を実現しています。モジュラー設計により、ユーザーは独自のニーズに合わせてアセットをカスタマイズできます。最後に、このモデルは、統合された安全メカニズムによってユーザーに高い安全性と信頼性を提供します。