中古 MKS ASTeX FI20620-1 #9204069 を販売中

MKS FI 20620-1は他のウェーハ加工装置の一種であり、精密ウェーハ加工アプリケーションに広く使用されています。このシステムは、分析およびプロセス制御機器の世界有数のメーカーであるMKS Instrumentsによって提供されています。MKS FI20620-1はオールインワンユニットであり、ウェーハベースの処理のためのさまざまな自動処理オプションと統合されたシングルアームロボットです。このツールの機械構成は、エアシリンダー、フレームアセンブリ、および中央処理ユニット（CPU）で構成されています。エアシリンダは、ウェーハ処理中のマスクやウェーハのアライメントに使用されます。これは、並列に最大3つのタスクを処理することができるシングルアームロボットを持っています。フレームアセンブリは、ウェーハ処理作業中に必要な安全保護を提供する責任があります。CPUは、エアシリンダー、フレームアセンブリ、シングルアームロボットを含む資産のすべてのコンポーネントの動作を制御します。FI 20620-1の特徴は、多段真空ウェーハ処理、スピンエッチングやポストエッチングなどの自動処理、各種OVF洗浄・成膜プロセス、ウェーハ検証などです。また、高度なウェーハスキャンと分析が可能で、データ収集と表示モデルが内蔵されています。また、装置はシステムの動作中に安全を確保する安全要素で構成されています。結論として、FI20620-1は精密なウェーハ処理アプリケーションに最適な汎用性、信頼性、効率的なウェーハ処理ユニットです。堅牢で強力なエアシリンダーとフレームアセンブリを備えており、安全性を最適化し、生産性を向上させるための洗練されたシングルアームロボットを備えています。この機械によって提供される自動処理操作は広範であり、スピンエッチングおよびポストエッチング、OVF洗浄および蒸着プロセス、高度なウェハスキャンおよび分析、組み込みのデータ収集および表示ツールが含まれます。したがって、MKS FI 20620-1は、精密ウエハ処理に最適な資産です。