中古 MKS ASTeX FI20620-1 #9165071 を販売中

MKS FI 20620-1は、高精度かつ高スループット動作を実現する先進的なウェーハ加工装置です。直径300mmまでのウェーハ加工が可能で、4つのプロセスチャンバーと2つの独立した真空システムを備え、信頼性と精度を確保しています。さらに、各ウェハを最大5ミクロンの位置精度で正確に配置・取得できる精密ロボットアームを搭載しています。このマシンはまた、DELTA®と呼ばれる高度なグラフィカル環境制御パッケージを備えています。このコントロールパッケージには、特定のプロセスに最適化できるレシピと設定の選択肢をユーザーに提供する多種多様な機能が含まれています。この幅広い機能により、ユーザーはシンプルまたは複雑なレシピを作成し、歩留まりとスループットのためのウェーハ処理レシピを簡単に最適化できます。MKS FI20620-1には、さまざまな洗練されたウェーハ処理オプションも含まれています。これには、ローディング中にウェーハを保持するチャックアライメント、自動プリアライニング、パッチ検査などのプロセスが含まれます。このツールにはプリアライメントおよびペリクル検査機能も含まれているため、プロセスレシピはアライメント要件を含めるように調整できます。さらに、このアセットは、プロセスの安定性、歩留まり、およびスループットを最適化するために設計されたさまざまな特殊機能を備えています。これには、ウェーハの軸上プロファイル誤差を監視する強化されたウェーハセンシングプログラム、プロセスの基盤となる状況の安定化、およびフロントエンドのプロセス安定化のための圧力制御および二次トラッキングが含まれます。全体として、FI 20620-1は、複雑なレシピを作成し、歩留まりとスループットを向上させるプロセスを最適化することを可能にする、強力で精密な他のウェーハ処理モデルです。洗練されたウェーハハンドリング、オフアクシスアライメント、プリアライメント、ペリクル検査機能、および強化されたウェーハセンシングプログラムを備えているため、正確かつ高スループット動作に最適です。