中古 MKS ASTeX FI20620-1 #9165070 を販売中

MKS FI 20620-1は、半導体業界のウェットケミカルプロセス向けに設計された先進的なウエハ加工装置です。このシステムは、複数のウェーハを同時に処理するための独自のフローインプレイス（FIP）設計を備えています。これにより、従来のシングルウェーハ処理システムと比較してスループットが向上し、サイクルタイムが短縮されます。ユニットは、特定のアプリケーション要件に応じて、一度に最大15ウェーハを収容することができます。この機械は、プロセスタンク、トランスファーアーム、ディスペンスユニット、コントローラ、電源、フィルター/レギュレータで構成されています。プロセス・タンクは良質のステンレス鋼から成り、有効なプロセス周期を促進するために密封されます。タンク内には、それらを接続するチャネルを備えた一連の個々のチャンバーがあります。トランスファーアームは、ウェーハを1つのチャンバーから次のチャンバーに移動するために使用されます。ディスペンスユニットは、処理のためのプロセスタンク内の正確な場所に必要な化学物質を正確かつ正確に分配するために使用されます。コントローラはツールの「脳」であり、転送アームの動き、プロセスタンクの温度、プロセス化学、真空圧力の調整を担当しています。これにより、プロセスが正確かつ最大限の再現性で実行されることが保証されます。コントローラを使用してプロセスの進捗状況を監視することもでき、結果の一貫性を高めることができます。また、MKS FI20620-1は、アセットに信頼性の高い電圧と電流を提供する高度な電源ユニットを備えています。これにより、プロセスが効果的かつ高い一貫性で実行されることが保証されます。フィルター/レギュレータは、最高の信頼性のために処理中に正しいガス、温度、圧力、および真空レベルが達成されるようにするのに役立ちます。FI 20620-1は、半導体業界のウェットケミカルプロセスで使用するために設計された高度なウェーハ処理モデルです。独自のFIP設計により、スループットの向上、高精度、再現性を実現し、同時に最大15個のウエハを処理できます。また、高度な電源と、機器への信頼性の高い電圧と電流のためのフィルタ/レギュレータを備えており、適切なガス、温度、圧力、および真空レベルを確実に達成します。このシステムは、さまざまな半導体プロセスのための強力で効率的なツールです。