中古 MKS / ASTEX Astron ex #293647823 を販売中

MKS/ASTEX Astron exは、リソグラフィやメッキなど、最も困難なフロントエンドおよびバックエンド用途向けに設計された精密自動ウェハ処理装置です。このシステムは、最も厳しい精度要件を満たしながら、柔軟性、高スループット、省スペースを提供します。MKS Astron exは、標準、カスタム、超高密度ウェーハなど、あらゆるタイプのウェーハに対応するさまざまなプロセスモジュールを提供しています。ASTEX Astron exは、操作が簡単な直感的なタッチスクリーンインターフェイスを備えています。8ステーションの革新的なバッチ処理技術により、1時間あたり最大200ウェーハの処理が可能です。精密多軸運動機能により、パターンアライメントのサブミクロン精度を実現し、登録精度は+/-0。6 μ m、厚さ精度は+/-0。4 μ mです。Astron exのユニークな機能には、ウェーハセントロイドの自動アライメント、自動フォーカスコントロール、動的顔検出とアライメント、自動化されたシステマティックオーバースキャンなどがあります。ユニットオペレータは、プロセスの前後またはプロセス中に各ウェーハのアライメントを客観的に検査し、着信および発信ウェーハの汚染量を制御することができます。さらに、高精度メッキ、ウェーハツーウェーハネットワーキング、汚染防止ステップ、および複数のウェーハハンドリングシステムなど、幅広いオプションの高度なモジュール機能を備えています。MKS/ASTEX Astron exのモジュール設計により、簡単なアップグレードと機能追加が可能になり、ユーザーは特定のニーズに合わせてマシンを素早く構成することができます。MKS Astron exの高度で堅牢なツールにより、高密度半導体デバイスの再現性と均一性に優れた加工を安全かつ効率的に行うことができます。モジュラー設計と直感的な操作により、最も困難で複雑なウェハアプリケーションに最適です。