中古 MKS 1153A #77147 を販売中

MKS 1153Aは、株式会社MKSインスツルメンツが製造する最先端のウェーハ加工装置です。このシステムは、ウェーハ上の集積回路やMEMSデバイスの製造に必要な時間と手間を削減するように設計されています。これは、費用対効果が高く、ユーザーフレンドリーなウェーハ処理ソリューションです。ユニットは堅牢なフレームとユーザーフレンドリーなタッチスクリーンコントローラで構成されています。最小フィーチャーサイズ200ナノメートルの集積回路と最小フィーチャーサイズ10ナノメートルのMEMSデバイスを製造することができます。機械にまた精密で、反復可能な動きができる強力な3軸ロボットアームがあります。ステッピングモーターは、秒速6メートルまでの速度で0。5ミクロンの位置精度でアームを動かすことができます。このツールはまた、ウェーハプロセス中に正確な温度制御を保証するために、精密な温度制御アセットを使用しています。1153Aは、精密で信頼性の高いプロセス制御のために、複数の真空およびガス供給システムを備えています。真空およびガス供給システムは、体積、流量、圧力、導電率などのプロセスパラメータを正確に操作するようにプログラムすることができます。このモデルは、シリコン、ガラス、セラミックス、金属などの様々な基板、ならびに様々なエッチング剤、プラズマ、化学物質で使用することができます。装置に多数の警報および安全遮断の特徴が付いている高度の監視および安全システムがあります。MKS 1153Aは、集積回路およびMEMS製造事業に最適なソリューションです。精密で反復可能で効率的な性能は、他の幅広いウェーハ加工技術に最適です。このユニットは、確立された回路およびMEMS製造事業において、高い信頼性と費用対効果を備えています。