中古 MICROSENSE EZ 11 #9151871 を販売中

MICROSENSE EZ 11は、製造プロセスの精度とタイトな制御を容易にするために使用されるウェーハ処理装置です。高精度なサーボモータを搭載し、再現性と精度を高めています。それは機能性を改善するためにユーザー定義の変数に調節することができる超高速熱処理を提供することによって働きます。ユニットの構造は、シンプルで使いやすいように設計されています。フレームは、処理中にウェーハを保持するために使用される2つのレベルのサポートを持つアルミニウムフレームで構成されています。機械には、ステンレス製のコールドプレートと熱プロセス用の加熱プレートが装備されています。単一または複数のサンプルステージを、目的のアプリケーションに基づいてマシンに統合できます。スイッチ、インジケータ、アラーム、緊急停止で構成されるオペレータパネルがツールに含まれています。このアセットにはモータ制御ユニットが装備されており、プロセス中の正確な再現性と精度を保証します。モータは、回転と翻訳を同時に行うなど、さまざまな動作を可能にし、自動的に再現可能な動作を可能にします。サーボモータ制御は、外部環境条件に関係なく一貫した動作を保証するために使用されます。このモデルには、加熱および冷却目的で調整可能な温度コントローラが取り付けられています。温度範囲は0〜550°Cで調整可能で、温度コントローラは開閉ループモードでも操作できます。ユーザー定義のパラメータを設定して、最大の熱均一性を確保できます。この装置には高速デジタル信号プロセッサも装備されており、高速制御可能な熱生産を容易にするために使用されます。デジタルシグナルプロセッサは、各プロセスの温度サイクルとサーマルランピング期間のタイミングを調整するためにも使用されます。システムのユーザーインターフェイスにはグラフィカルユーザーインターフェイスが装備されており、ユーザーはプロセスのパラメータを設定および調整できます。提供されたデータを使用して、プロセスに関連する熱勾配やその他のパラメータを正確に計算するさまざまな数学モジュールも含まれています。このユニットには、停電時の自動シャットダウンプロセスなど、さまざまな安全機能が装備されています。その他の安全機能には過熱保護機があり、最適な性能と工具寿命の向上を保証するようにプログラムすることができます。EZ 11は、優れた性能と柔軟性を保証する信頼性と使いやすい資産です。一般的な処理、バッチ処理、結晶成長、電気めっき、薄膜プロセスなど、幅広いウエハ加工アプリケーションに適しています。