中古 MICRO AUTOMATION 2066SA #9028587 を販売中

MICRO AUTOMATION 2066SAは、精度と高スループットのために設計された高度で自動化されたウェーハ処理装置です。手作業による介入を最小限に抑え、幅広いプロセスシーケンスをサポートします。このシステムは、堆積、エッチング、洗浄、その他の基板加工ステップから12インチのウェーハに対応できるため、半導体加工に最適です。2066SAは、幅広い半導体加工をサポートするモジュールと機能を備えています。このユニットには、ロードポート、マルチチャンバーマシン、プロセスコントローラ、ロードロック、工具収納ラック、およびプロセス監視ソフトウェアが含まれています。また、プロセスやデータ分析ツールの高度なリアルタイム監視も付属しています。MICRO AUTOMATION 2066SAのロードポートにより、手動での介入を最小限に抑えてウェーハを効率的にツールにロードできます。これは、正確で一貫した温度制御を提供するロードロックアセットによってサポートされています。また、プロセスチャンバ間でのウェーハの迅速な転送も可能です。2066SAのマルチチャンバーモデルは、金属化、堆積、エッチング、クリーニングなどの多段階プロセスシーケンスをサポートしています。ウェットプロセスとドライプロセスの両方を備えており、幅広い基板に対応する際の柔軟性と精度を実現します。さらに、装置は最大12インチのウェーハを処理することができ、高い歩留まりで高スループットを実現します。MICRO AUTOMATION 2066SAのプロセスコントローラは、正確でリアルタイムなプロセス制御を可能にします。圧力、温度、傾斜率などのパラメータを包括的に制御し、精度と再現性を確保します。さらに、コントローラはあらゆる真空システムとインタフェースすることができ、さらなるプロセス最適化を可能にします。2066SAのツールストレージラックは、幅広いプロセスモジュールのストレージを可能にし、高いスループットと柔軟性を実現します。プラズマガン、ピロメーター、エッチャー、クライオポンプなど、複数のサブモジュールに対応できます。MICRO AUTOMATION 2066SAのプロセスモニタリングソフトウェアは、プロセスパラメータのステータスに関するリアルタイムのフィードバックをユーザーに提供します。また、ユーザーは基板の性能と製品歩留まりを監視することができ、生産を最適化するのに役立ちます。さらに、このソフトウェアには、データを迅速かつ簡単に分析するための可視化ツールが含まれています。2066SAは、高いスループットと再現性のために設計された強力で自動化されたウェーハ処理ユニットです。高度な機能とモジュールを幅広く提供しているため、さまざまなプロセスシーケンスで正確で高収率な結果を得ることができます。