中古 MEDEC / RIX TCM-2000 #9386201 を販売中

MEDEC/RIX TCM-2000は、ウェーハ業界の研究者の要求を満たすように設計された高度なウェーハ処理装置です。通常のシリコンウェーハから充電結合デバイス（CCD）ウェーハまで、さまざまな種類のウェーハに対応可能です。このユニットは、標準的な大気圧から超高真空（UHV）環境まで、さまざまな状況や圧力でのウェーハ処理用に設計されています。RIX TCM-2000は、50ミリメートルから200ミリメートルまでのウェーハサイズに対応でき、最大200個のウェーハに対応できます。それはより大きいオートメーションのための4段階のローディングおよび荷を下す位置の2つの独立した手動腕を特色にします。マニュアルアームのユニークなデザインは、ウェーハの正確な取り扱いと位置決めを可能にします。このマシンの10個のプロセスモジュールは、ウェットまたはドライステートでウェーハを処理するように設計されています。ウェットプロセスモジュールは直径200mmまでのウェハ処理が可能で、ドライプロセスモジュールは最大75mmまでのウェハ処理が可能です。ウェットプロセスモジュールは化学エッチング、洗浄、拡散プロセスを提供し、ドライプロセスモジュールはCVD、酸化、CMP、イオン注入、レーザー加工、リソグラフィを行うように設計されています。このツールには、アクティブガスの優れた制御を提供し、プロセスパラメータの正確な制御を可能にするマルチガスパージングユニットが装備されています。さらに、MEDEC TCM-2000は、湿度や温度などの様々な環境条件に対応しており、既存のラボセットアップに容易に組み込むことができます。TCM-2000は、ウェーハメーカー向けのスクラッチ補修やリワークサービスなど、幅広い修理機能を提供しています。これは、最高レベルの品質管理を確保するために、プロセス監視資産で設計されています。また、廃棄物管理ユニットを備えており、プロセスで使用される有害化学物質を安全に処理できます。全体として、MEDEC/RIX TCM-2000は、幅広いウェーハ処理アプリケーション向けに設計された先進的なウェーハ処理装置です。2つの独立したマニュアルアームにより、ウェーハの正確なロードとアンロードが可能で、10個のプロセスモジュールは、ウェット状態とドライ状態の両方でさまざまなウェーハを処理するように設計されています。このシステムのマルチガスパージング機能は、アクティブガスの優れた制御を提供し、プロセスモニタリングユニットは品質管理を提供します。RIX TCM-2000は、有害化学物質を安全に処理するための廃棄物管理ユニットと統合されています。これらのすべての機能により、信頼性が高く効率的なウェーハ加工機となります。