中古 MEDEC / RIX LMXO-2000 #9386199 を販売中

MEDEC/RIX LMXO-2000は、多様なウエハの種類やサイズに対応できる画期的なウエハ加工装置です。ウェーハの歩留まりを最大化し、ターンアラウンドタイムを短縮するために設計された高度な機能と機能を組み合わせた多機能プラットフォームです。モジュラー設計により、RIX LMXO-2000は膨大な量のリソグラフィーパラメータ、計測設定、ウェーハコンディショニングツールを可能にします。そのリソグラフィ機能は、単一のマイクロメータパターンの微細なアライメントから複雑な複数の露出アライメントまで、幅広い露出を可能にします。焦点の深さと特徴解像度が優れているため、最新の技術に見られる複雑なパターンの作成に最適です。3Dオブジェクトと3Dマイクロ構造のアライメントなどの高度なアラインメントも、優れた再現性で実現できます。さらに、ウェーハエッジとノッチアライメントの自動サポートにより、設計要件に応じてウェーハコーティングが正確に適用されます。このユニットは、ウェーハ表面積の超精密な測定と、フィーチャー形状と深さの詳細な評価を可能にする計測スイートを備えています。これにより、3D微細構造パターンの特性評価が可能になり、製造製品の収率と再現性が向上します。また、計測スイートは、さまざまなカスタムウェハテストおよび測定機器と完全に互換性があります。ウェーハコンディショニングツールは、正確な仕様に合わせてウェーハを洗浄、乾燥、研磨するための強力なソリューションを提供します。さまざまなサイズと形状を迅速かつ正確に処理することができ、ウェーハは最高品質の要件を満たすことができます。含まれている掃除機は、ウェーハ全体の表面から汚れ、ほこり、粒子を除去します。MEDEC LMXO-2000は、多様なウェーハ処理要件をカバーする汎用性の高いプラットフォームを提供します。使いやすいインターフェイス、高度なフィーチャーコントロール、オンボードメトロロジー、ウェーハコンディショニングツールを備えたこのマシンは、複雑な3Dマイクロストラクチャーやその他の高度な製品の製造に最適です。スピード、精度、汎用性を兼ね備えているため、製造メーカーは生産を最大限に活用するために必要なツールを提供します。