中古 MEDEC / RIX LMXO-1000 #9386198 を販売中

MEDEC/RIX LMXO-1000は、費用対効果の高い先進的な製品検査、欠陥識別、歩留まり改善作業用に設計された先進的なその他のウェーハ処理装置（OWP）です。RIX LMXO-1000には、接点計測、パッチ計測、フィルム成膜、接合深度、ライン蛇行、多周波励起、フォトリソグラフィー、ストリッピング、ワイヤー/ダイボンディング、バックスピンドリング、ブラックマーク認識、ウェーハフリップチップなど、さまざまなウエハーおよびダイプロセス機能を実行するために使用できる複数のモジュールがあります。メデックのLMXO-1000システムは、ウェーハプロービングやソートに必要なプロセスに加えて、他のOWPシステムにはない高度な機能も提供しています。ウェーハの小さな欠陥を検出できる高解像度イメージングユニット、リバースエンジニアリング専用モジュール、アンチピンチオペレーション用の物理変形機などがあります。このツールには、統合されたウェーハロードロック、正確なホーミング操作、統合エッジ検出機能、高速真空ファン、マルチレベルレーザー三角測光機能、光学ビームプロファイラ、自動化されたステッパーアライメントシステム、スペクトルプロファイラ、およびカスタムマスク測定も備えています。LMXO-1000資産の使いやすいメニュー駆動のユーザーインターフェイスは、さまざまな機能や機能に簡単にアクセスできます。このモデルは、最も一般的に使用されるウェーハサイズ（例：300mm、 200mm、 150mm）をサポートしています。統合された光学および機械的位置決めシステムを使用すると、機器はポイントとラインの測定と検出、ならびに2次元校正を必要とするより複雑な測定を正確に実行できます。MEDEC/RIX LMXO-1000ユニットの内蔵レーザー干渉計システムは、ウェーハの厚さを正確に測定し、そのインタフェースから各ウェーハの平坦度、直径、表面粗さ、距離などのパラメータを測定します。このマシンはまた、断面画像のための統合された視覚レビューツールを含む包括的な欠陥レビュー分析機能と、ウェーハ表面および裏面検査のための包括的な分析アセットを提供します。全体として、RIX LMXO-1000は、費用対効果の高い先進的な製品検査、欠陥識別、および歩留まり改善作業を提供するように設計された先進的なその他のウェーハ処理モデルです。この装置には、幅広い機能、高度な光学位置決めシステム、レーザー干渉計システム、および歩留まりと効率を向上させる自動レビュー機能が装備されています。