中古 MATEC 10 #293667705 を販売中

MATEC 10は、MATEC GmbHによって設計された最先端のウェーハ処理装置です。迅速かつ正確なウェーハ加工を提供し、コストを削減しながら生産率を向上させるように設計されています。システムは高度に自動化されているため、手動での処理が最小限に抑えられます。ユニットは、いくつかの物理的なコンポーネントで構成されています。機械の中心にはCoreWorks UniGrid （CUWG）があり、さまざまな自動ウェーハタスクを実行することができるロボティクスのシーケンスがあります。2軸検査パレットと一体化しており、各ウエハを連続処理する前に各ウエハを検査することができます。このツールには、手動の温度制御を使用せずにウェーハの含有量を環境から熱的および化学的に区別するために使用されるActive Warm Processing Chamber （AWPC）も搭載されています。これにより、精密で高品質なウェーハ加工が可能になります。アセットは、5インチから12インチまでの直径のウェーハを扱うことができます。ウェーハアライメント、クリーニング、UV露出、ウェーハローディング/アンロード、ダイシング、レーザーマーキングなど、さまざまなウェーハ処理が可能です。CUWGは、ユーザーの選択に基づいて、個別およびグループのウェーハ処理操作を実行することができます。プロセスの信頼性を確保するために、温度、湿度、気流、照明レベルなどの関連するプロセスパラメータを継続的に監視します。これにより、各ウェーハが同じ方法で処理され、一貫性のある結果が保証されます。この機器は、異なるユーザーが同じレシピにアクセスできるように、さまざまなウェーハ処理レシピを保存して呼び出すこともできます。システムは、各ウェーハ処理サイクルの後に自動的に自分自身を清掃し、自己診断して潜在的な障害を検出し、潜在的な問題をオペレータに警告することができます。これは、ユニットが適切な環境条件に保たれ、問題が発生するのを防ぐのに役立ちます。このマシンは信頼性が高く、故障率が低い多数のウェハを処理することができます。さらに、このツールはユーザーにもサービスにも優しいように設計されており、ウェーハ処理に最適です。