中古 MARCH iTrak #9087090 を販売中

MARCH iTrakは、研究および生産環境の要求に応えるように設計された先進的なウェーハ処理装置です。これは、最も過酷な薄膜および厚膜プロセスに対応する柔軟性と拡張性を提供します。このシステムは、標準化された薄膜プロセスと高度な薄膜プロセスの両方を同じレベルの制御で作成および維持できる、集中型RF/DC多方向プラットフォームを中心に設計されています。様々な加工ステーション間で基板を移動する際の精度と再現性を確保する精密多軸モーションユニットにより、基板移動が可能です。各ステーションには独立した真空制御があり、異なる真空条件下でのシーケンシャルエッチングまたは沈殿プロセスを可能にします。RFジェネレータは、複雑な堆積層またはリフトオフ層を処理するために含まれています。この発電機は、RF電力、周波数、およびデューティサイクルの正確な調整を可能にします。ITrakには、堆積物の適切な硬化を確保するための高度な温度制御機械も含まれています。MARCH iTrakには、PFEC （photofluorochromic）センシングツールを備えたフローティングベッドハイドロフルオロカーボントラック加工チャンバーもあります。このチャンバーは、OClV-MASPR基板への基板の堆積のためのOClVOMeへの正確な露出を保証します。ITrakは、OClV-MASPR基板RFモジュール、高度なプロセスコントロールモジュール、熱波モニターおよび独立したヒーターモジュールなど、幅広いアドオンモジュールで高度にカスタマイズ可能です。追加の特殊モジュールにより、X線パターニング、イベントウェーハアライメント、レーザトレーサ技術などのユニークなアプリケーションが可能になります。このアセットにより、包括的なソフトウェアパッケージでプロセスの監視とレポート作成も可能になります。このソフトウェアは、温度制御やRFモジュールを含むモデル内の複数のポイントからデータを収集します。これにより、ユーザーはプロセス全体を一度に表示することができ、問題を診断しやすく、改善の領域を明らかにすることができます。要約すると、MARCH iTrakは最新の研究および生産環境に求められる柔軟性と拡張性を提供します。その集中型RF/DCプラットフォームは、基板の効率的な転送を提供します、その高度な温度とRF補償は、精度と精度で複雑な層やリフトオフ層の堆積を可能にします。また、X線パターニングやレーザートレーシングなどのユニークなアプリケーションや、プロセス監視およびレポート機能もサポートしています。