中古 LNI SCHMIDLIN PG-H2 100 #9245687 を販売中

LNI SCHMIDLIN PG-H2 100は、高精度ウェーハ加工用に設計された自動化された高性能ウェーハ加工装置です。シリコンウェーハ、MEMS、 MEMSセンサ、サーモパイル、光半導体ウェーハなど、さまざまな用途に適しています。主に、乾燥・湿潤エッチング、クリーニング、コプラナリティチェック、蒸着、熟成、ドーピング、エレクトロマイグレーションなどのウェーハの成長後の処理に使用されます。PG-H2 100ウェハ処理システムは、ピックアンドプレースユニットとピックアンドプレースユニットの2つの主要コンポーネントで構成されています。ピックアンドプレイスユニットは多軸ロボットアームで、最大5軸まで拡張可能で、異なるウエハ構成やピックアンドプレイスオペレーションに対応します。基板にウェーハを正確かつ再現可能に配置することができます。基板ホルダーは、加熱冷却機を内蔵した調節可能なフレームで、温度調節が容易です。このツールには、ウェーハ処理用の3つの主要モジュール（化学アプリケーションモジュール、PVDモジュール、真空モジュール）が装備されています。ケミカルアプリケーションモジュールは、プリクリーンおよびクリーニング操作、スプレーコーティング、スピンコーティング、ドライエッチングなど、さまざまなアプリケーションでケミカルエッチングの精度を制御するのに理想的です。PVDモジュールは、アルミニウムや窒化チタンなどの半導体層を堆積させる金属、ポリマー、誘電体の物理蒸着用の真空チャンバーです。最後のモジュールである真空モジュールは、RIE、イオンエッチング、プラズマクリーニング、酸化などのプロセスに適しています。この資産は、直感的なタッチスクリーンインターフェイスとイーサネット接続で、簡単なインストール、操作、およびメンテナンスのために設計されています。また、強力なデータ管理モデルと自動ジョブスケジューリングが付属しています。LNI SCHMIDLIN PG-H2 100は、完全に囲まれた換気されたエンクロージャ、クリーンルームの必要性、および国際規格の要件を満たすための高度な安全装置を備えた安全でオペレータフレンドリーな環境を備えています。このシステムは、精度、清浄度、精度を念頭に置いた高性能ウェーハを製造することができます。PG-H2 100の精度、信頼性、柔軟性、安全性により、幅広いウェーハ加工作業に最適です。