中古 LEO GIKEN LTA-550 #9083830 を販売中

LEO GIKEN LTA-550は、幅広い業種の応募者に対応できるように設計された先進的なウェーハ加工装置です。このシステムは、大容量で最大のユーティリティを備えており、単結晶、光電子、磁性材料などのさまざまな材料を素早く処理できます。優れた性能により、LTA-550はMEMSからLED製造まで幅広い用途に対応できます。最新の最適制御技術を使用して、処理パラメータを最適化することで、ユニットは、最高の品質結果を確保するために、処理条件の範囲のために急速に調整することができます。さらに、ロードアンドアンロードロボットハンドラモジュールは、ウェーハ処理中の予期しない反応に対処するための簡潔な安定化力制御を備えた、ウェーハ上の超精密なアクティブコントロールを提供します。温度制御装置は、低熱出力と高温分解能を備えており、正確な温度管理が可能です。広い温度差範囲を維持しながら、ウェーハ表面全体に均一な温度分布を作り出します。さらに、単位変位あたりのウェーハパターニング速度を自動制御し、ウェーハパターン形状とサイズを自動制御することで、製品の蛇行に精密な処理を提供します。モニタリングソフトウェアは、プロセス関連の潜在的な劣化やウェーハ構造の変化についてリアルタイムでユーザーに通知します。このツールは、プロセス・サイクル中にウェーハの異常を正確に検出して補正する強力な機能を備えており、生産プロセスを非常に安定した状態に保ちます。さらに、ウェーハ表面の精度と安定性を高め、全体の品質と生産速度を向上させる独自の真空制御技術を採用しています。最後に、LEO GIKEN LTA-550は、最適制御技術、ロードアンドアロボットハンドラーモジュール、温度制御装置、モニタリングソフトウェア、真空制御技術などの優れた機能を備えた、高度で効率的なウェーハ処理モデルです。