中古 LEO GIKEN LTA-330A #9148344 を販売中

LEO GIKEN LTA-330Aは、さまざまな業界で使用される、コンパクトで完全に自動化されたウェーハ処理装置です。特に研究開発ラボやその他の小規模事業に適しています。LTA-330Aは、高精度で非接触のウェーハハンドリングシステムを備えています。モーションコントロールユニットは、ウェーハテーブルとアームの正確かつ一貫した動きを可能にし、スループットの向上と生産公差の向上をもたらします。また、内部の環境制御ツールにより、処理中の汚染を最小限に抑えるように設計されています。LEO GIKEN LTA-330Aは、ウェーハの安全で効率的なロードとアンロードのための統合された真空ロードロックを備えた単一のウェーハプロセス資産です。最大160個のウエハーの負荷容量を持ち、8個までのさまざまなウエハサイズに対応できます。LTA-330Aの主な用途は、ウェーハクリーニング、バーンイン、アニーリングです。ウェーハ処理モデルは、プログラマブルな熱処理の多様な範囲を備えており、ユーザーの柔軟性を高めています。高速加熱装置は400°Cまでの温度に達することができ、ウェーハの急速な熱処理を可能にします。さらに、LEO GIKEN LTA-330Aにはさまざまな高度なプロセス制御機能が搭載されており、一貫した反復可能な製品性能を確保しています。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスにより、オペレータは基板転送から温度および時間設定まで、プロセスのすべての側面をプログラムおよび監視できます。リモートモニタリング機能により、ローカルネットワーク上の任意の場所からシステムの動作を監視することもできます。全体として、LTA-330Aはあらゆる生産または研究の実験室のための貴重なウェーハの処理用具です。その性能、精度、再現性の向上により、幅広い用途において費用対効果の高いソリューションとなります。