中古 KYORITSU SEIKI GV1-20HAT-PF #293663639 を販売中

KYORITSU SEIKI GV1-20HAT-PFは、半導体製造に使用される高温ウェーハ加工装置です。このシステムは、高度なウェハレベルの処理技術を使用して、基材を損傷することなく、酸化物パターンを迅速かつ正確に形成します。GV1-20HAT-PFは、二酸化ケイ素やポリシリコンなどの薄い材料でウェーハをコーティングする高温蒸着法を使用しています。これは850°Cの温度に基質が加熱される高温炉で行われます。これにより、薄膜がウェーハを均等に被覆し、基板全体に一貫した酸化パターンを作り出すことができます。酸化パターンが形成されると、KYORITSU SEIKI GV1-20HAT-PFはレーザー光学リソグラフィーを使用して、目的のパターンの画像を基板に投影します。これは、ウェーハ上の特徴の正確なアライメントを確保するために高精度で行われます。GV1-20HAT-PFのもう一つの利点は、その低熱予算です。このユニットは、低温で短時間のプロセスを使用します。これにより、基材の熱浸食を最小限に抑え、最終製品の歩留まりを低減できます。さらに、熱予算が低いため、ウェーハへのストレスが少なく、処理後の整合性と高性能が維持されます。KYORITSU SEIKI GV1-20HAT-PFは、1サイクルに最大10ウェーハまでのウェーハ処理が可能なため、高効率です。これにより、大量生産に最適です。最後に、GV1-20HAT-PFは包括的な安全機能を備えています。これには、機械が過熱するのを防ぐ温度センサーと、室圧を監視して許容限界を超えないようにする圧力センサーが含まれます。KYORITSU SEIKI GV1-20HAT-PFは、高度なウェーハレベルの加工技術を使用して、基材を損傷することなく迅速かつ正確に酸化パターンを形成する高温ウェーハ加工ツールです。このアセットは、低熱予算、高スループット、包括的な安全機能を備えているため、半導体製造アプリケーションに最適です。