中古 KORTHERM SCIENCE KOS-1000L #293664550 を販売中
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KORTHERM SCIENCE KOS-1000Lは、さまざまな機能を1つのユーザーフレンドリーなパッケージに組み合わせた高度なウェーハ処理装置です。このシステムは、単結晶および多結晶ウェーハの調製、パターニング、欠陥検査、熱放出、成膜など、幅広い用途に使用できるように設計されています。シングルウェーハベースのプラットフォームであり、最大200mmのウェーハを処理でき、反復可能なプロセスとデータ管理機能を備えています。KOS-1000Lには、競争とは別にそれを設定するいくつかの重要な機能があります。KORTHERM SCIENCE KOS-1000Lは、ウェーハの準備プロセスを自動化するために設計されています。ウェーハの向きと位置合わせを検出し、位置合わせマークを読み取り、ウェーハをマークし、位置合わせ精度を検証することができます。ウェハピックアップとアライメントユニット、レーザーエッチングマシン、およびオプションの精密ロボットアームが含まれています。この高精度なツールにより、手動でウェーハを準備する必要がなくなります。KORTHERM SCIENCEでは、KOS-1000Lによる高解像度の画像取得とパターニング機能も提供しています。このアセットは、最大5,000dpiの解像度で光学顕微鏡から画像をキャプチャすることができます。また、フォトリソグラフィ、トップダウン、ホットエンボス、酸化など、さまざまなパターニング技術を提供しています。細線パターンの作成や高度な形状の加工に最適です。KORTHERM SCIENCE KOS-1000Lはまた、高度な欠陥検査機能を提供します。その高度な顕微鏡装置は、表面や埋め込まれた欠陥を含むサブミクロンのレベルで欠陥を検出することができます。また、3D表面トポロジの特性評価、非接触熱放出測定、および部分的に透明な層の検査にも使用できます。また、熱蒸発、スパッタ蒸着、化学蒸着など、複数の成膜技術がKOS-1000Lされています。これにより、超薄膜から厚膜まで、単一または複数の薄膜を適用することができます。このシステムは、さまざまなフォトレジストと互換性があり、ユーザーは最適な歩留まりのために堆積プロセスをカスタマイズすることができます。KORTHERM SCIENCE KOS-1000Lの堅牢な設計と精度制御により、ウェーハ処理のための高効率で信頼性の高いユニットとなります。高度な自動化機能と高度な画像取得およびパターニング機能により、高精度のウェーハ処理アプリケーションに最適です。オペレータの介入を最小限に抑え、高い歩留まりと一貫した再現性を実現するこのマシンは、半導体メーカー、研究開発施設、研究所に最適です。
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