中古 KOMATSU MPG-300 #169319 を販売中

コマツMPG-300は、半導体業界で最も高い生産需要を満たすように設計されたトップクラスのウェーハ加工装置です。それは最も要求の厳しい顧客のための妥協のない性能を提供する完全に自動化されたシステムです。MPG-300は、現在市場で入手可能な最先端のプロセス監視技術を活用したインラインソリューションです。KOMATSU MPG-300は、ロードロックユニットを一体化し、一貫性のある一貫したプロセスを最初から最後まで維持することで、優れたスループットと品質を保証します。ウェハレベルのセンサを内蔵しており、プロセスパラメータを正確に制御し、エッチング、蒸着、スパッタリングなどの重要なプロセスステップをより適切に制御できます。MPG-300ツールはまた、スループットを向上させ、サイクルタイムを短縮するように設計されています。その改善された活動には、温度と圧力制御、検査モジュールの強化、クリーンルームの自動化の強化、ウェーハ輸送システムの改善などが含まれます。優れた精度と再現性を確保し、サイクルタイムを短縮し、生産性を最大化します。KOMATSU MPG-300はまた、オプションのロボットローダー/アンローダー、完全自動オートローダー/アンローダーへのオプションアップグレードなど、幅広いジョブオプションを提供しています。広範なモジュラー設計により、アセットはお客様の個々の生産需要に合わせて上下に拡大または縮小することができます。さらに、オプションのソフトウェアパッケージにより、オペレータは独自のプロセス要件に合わせてモデルをカスタマイズできます。MPG-300は清潔さおよび安全のためのすべての国際規格に迎合的です。堅牢な安全システムを備えており、オペレータや機器に害を及ぼすリスクを保護し、最小限に抑えます。優れた熱制御装置、エアベアリング対応部品、低圧強制空冷システムにより、優れた信頼性と耐久性を提供します。KOMATSU MPG-300は、あらゆるウエハ加工ユニットに最適なソリューションです。高度なプロセス監視技術と多種多様なジョブオプションとカスタマイズ性を兼ね備えています。これにより、最も要求の厳しい生産要件に対して優れた選択肢となります。