中古 KOMATSU MPG-300 #169315 を販売中

KOMATSU MPG-300は、効率的かつ正確なウェーハ生産を提供するために設計された先進的なウェーハ処理装置です。このシステムには、大容量ロードポート、複数のロードボード、マルチリフレクター顕微鏡、ガス処理ユニット、およびプラズマ洗浄機が装備されています。ロードポートは、さまざまなサイズの最大200ウェハを運ぶことができます。また、高度な制御ツールを備えており、処理中にウェーハの正確な位置と向きを制御することができます。データ通信には、FOUP （Front Opening Unified Pod）ロボティクスモデルとMPI （Multimedia Protocol Interface）インターフェースを備えており、既存または新規システムから機器全体を制御することができます。また、メニュー駆動の操作パネルも備えており、数回クリックするだけで簡単に必要な作業を行うことができます。機械の光学カラムは、自動焦点工具、様々な光学レンズとフィルター、少数の光学シャッターで構成されています。これにより、ユーザーはレンズに依存する視野を調整し、特定のアプリケーションに適応することができます。さらに、光学カラムは、ブライトフィールド、ダークフィールド、蛍光などのさまざまなイメージング技術をサポートしています。また、クリティカルアライメント用のLEDと、長時間の作業距離用の光学ズームも含まれています。このアセットは、効率を改善し、ヒューマンエラーを減らすために、自動ロードとアンロードのモデルを備えています。また、システムの熱安定性と性能を向上させる高度なガス処理装置が装備されています。酸素タイミングエッチングや純粋なArタイミングエッチングなど、さまざまなプラズマ洗浄プロセスを備えています。プラズマ洗浄機は、安全な作業環境を提供しながら、ウェーハ表面を経済的に洗浄するように設計されています。全体として、MPG-300は効率的で正確なウェーハ処理ソリューションを提供します。ユーザーフレンドリーな操作パネル、マルチリフレクター顕微鏡、ガスハンドリングツール、プラズマクリーニングアセットを備え、量産に特化しています。さまざまなイメージング技術と光学部品により、ユーザーはアプリケーションごとに正確に調整することができます。さらに、自動ローディングとアンロードモデルは、高度なガス処理装置とともに、効率を高め、さらに人的ミスを減らすのに役立ちます。