中古 KOLB PS07 ST #293642590 を販売中

KOLB PS07 STは半導体産業のために設計されている高度の立場の単独のウェーハの処理装置です。ウェハクリーニング、コーティング、加工アライメント、リソグラフィ、ウェットケミカルエッチング、ドライフィルム成膜など、幅広い用途に使用されています。このユニットの主成分は真空作業室であり、各ステップに最適な圧力と環境を維持するために密閉されています。この作業室はステンレス製で、高い耐食性と清潔さを提供します。加工ステーションには、ベーキング、フォトレジストコート、露出、開発段階でウェーハを所定の位置に保持するウェーハボートのようなウェーハ処理に必要な機器が含まれています。ウェーハは、炉またはホットプレートで加熱することができます。露出と開発サイクルは、完全に自動化されたプロセスユニットによって制御されます。ロボットアームは、1つの処理ステーションから次の処理ステーションにウェーハを正確に移動させるために使用され、高い精度と再現性で行うことができます。このマシンには、各ステップで正確なサンプルアライメントを行うための統合ビジョンツールを含む、プロセス監視用のさまざまな標準センサーと計測器も含まれています。ビジョンアセットは、ウェーハボート上のウェーハの正確な座標を検出する光学センサーによってバックアップされ、人間の介入なしにバックアップされます。KOLB PS 07 STはメンテナンスが簡単で、非常に正確で信頼性の高い反復可能なパフォーマンスを提供します。厚膜・薄膜成膜、スパッタリング、フォトリソグラフィ、ウェハボンディングなど、さまざまなウエハ加工用途にご使用いただけます。この装置は、高精度コンポーネントの量産に特に適しており、完全なバッチ一貫性と品質管理を保証します。