中古 KOLB PS 03 #9353306 を販売中

KOLB PS 03は、計測、薄膜成膜、パッケージング、ワイヤーボンディング、その他の高精度タスクなどの他の半導体アプリケーションで使用するために設計されたウェハ処理装置です。このシステムは、大量のアセンブリ作業で信頼性の高い正確な処理能力を提供するために構築されています。PS 03は、ウェーハハンドリングユニットと高精度オペレーティングユニットの2つの主要コンポーネントで構成されています。ウエハハンドリングユニットは、高精度の圧電アクチュエータと回転段で構成されており、基板の正確で再現性のある位置決めと動きを可能にします。高歩留まり、高信頼性の生産に必要な加工時の正確なウェーハアライメントを実現します。また、過酷な環境での正確な動作のために、振動減衰と温度制御が組み込まれています。KOLB PS 03の高精度動作ツールは、精密チューニングされたマイクロプロセッサを使用して、高速で信頼性の高い反復可能な結果を提供します。そのデジタル制御板は異なったプロセスステップのための操作をカスタマイズするためにいろいろな変数のプログラミングを可能にします。このアセットには、プログラミングと操作を簡単にするための直感的なユーザーインターフェイスも備えています。PS 03には、ウェーハ処理を容易にするためのさまざまなツールが含まれています。静電チャッカーを使用して基板をハンドリングユニットに確実にクランプし、精密プローブを使用して膜厚と抵抗を測定します。エッチング、パッタリング、熱拡散などのプロセス手順は、モデルの統合プラズマトーチ、Cu蒸着およびCMPツールを使用して実行できます。また、走査型電子顕微鏡などの検査・試験装置や、加工されたウェハの精度や品質を確認する非接触計測ツールも搭載しています。KOLB PS 03は、大量の精密ウェーハ処理アプリケーションのニーズを満たすことができます。その信頼性と正確な性能により、高いプロセス歩留まりと製品品質が保証され、半導体用途に最適です。