中古 KMC 512 #293652156 を販売中
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KMC 512は、信頼性の高いウェーハ処理と工具稼働時間の向上を目的とした先進的なウェーハ処理装置です。このシステムは、ウェーハプロセスの自動化をサポートするインテリジェント統合ユニットアーキテクチャに基づいており、ウェーハ製造条件のリアルタイム監視と制御を提供します。この機械は、リソグラフィ、コーティング、エッチングなどのさまざまな種類のウエハプロセスを実行することができます。512には、さまざまなウェーハプロセスをサポートするために設定可能でカスタマイズ可能な複数のプロセスモジュールが装備されています。このツールは、ウェーハのロードとアンロードのためのロボットプラットフォームを利用しており、複雑で大規模なマルチステッププロセスでも一貫した結果が得られます。さらに、高度なプロセス制御と自動化機能を備えたインテリジェントなプロセスコントローラを備えています。プロセスコントローラは、ウェーハプロセスパラメータ(温度、圧力、抵抗など)を監視して、ウェーハプロセスを最適化し、一貫したパフォーマンスを確保します。また、ウェーハの正確なアライメントを確保し、プロセス段階を正確に制御するための高度なビジョン装置を搭載しています。ビジョンシステムは、ウェーハポジショナーのすべての側面を制御できるように多軸に対応しています。さらに、イオンゲージ、IRイメージングシステム、レーザーベースのセンサー、真空センサーなどの複数のセンサーを搭載し、ウェハプロセスを正確かつ正確に分析します。また、KMC 512は、ユーザーフレンドリーで直感的なウェーハプロセス制御インターフェイスを内蔵しているため、ユーザーはウェーハプロセスを迅速かつ簡単に管理できます。これにより、パラメータの調整、レシピの変更、ウェーハ製造作業の最適化が容易になります。このマシンは、自動ウェーハ試験も可能です。このツールは、生産前および生産後のテスト、品質保証、追跡およびトレーサビリティに使用できます。全体として、512は信頼性が高く、正確でユーザーフレンドリーなウェーハプロセスソリューションを提供し、ツールの稼働時間と一貫した品質を向上させます。インテリジェントなアセットアーキテクチャと高度なプロセスコントローラ、統合ビジョンモデルおよび自動ウェーハテストにより、包括的なウェーハ処理ソリューションを提供します。
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