中古 KLEIBER & SCHULZ INC FSW43 #9128261 を販売中
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クライバー&シュルツ(KLEIBER&SCHULZ INC FSW43は、半導体ウェーハなどの先端材料の精密加工用に設計されたウェーハ加工装置です。ウエハサイズが50〜200mmの場合に適しており、最先端の材料を1mm程度の厚さまで加工することができます。FSW43は、さまざまな半導体ウェーハ製造技術を使用して、薄膜を堆積させ、これらの膜を高精度にパターン化することができます。ステッパー分割機構と高度なステッピングマシンを採用し、レイヤーごとに正確なステップと繰り返しの露出を確保します。また、このツールには温度制御機能が内蔵されており、処理サイクル中に定期的に監視および調整されます。KLEIBER&SCHULZ INC FSW43は、スピンコーティング、露出加工、エッジ排除、シャドウマスキング、リフトオフ、蒸発およびスパッタリングなど、さまざまなウェーハ処理機能を統合しています。これらの各プロセスを組み合わせて使用することで、さまざまな半導体アプリケーションに使用できる高品質で均一な薄膜を実現できます。自動化されたウェーハ処理機能に加えて、FSW43は他の多くの重要な機能を提供します。自己ヘッジおよび均質なパターン位置を促進する自動トリミングモデル;処理サイクル中にウェーハ表面を完全に3Dイメージングするためのオプションのビジョン装置。KLEIBER&SCHULZ INC FSW43はまた、ウェーハ処理に最適な基板用の真空システムなど、パフォーマンスと安全性の印象的な範囲を提供します。自動非常停止;必要なすべての安全基準を完全に遵守するために、他の多くの安全および保護システムと同様に。FSW43は、優れた性能と信頼性を提供する高度で信頼性の高いウェーハ処理ユニットです。精密な薄膜成膜と繊細なウエハなどの先端材料のパターニングが必要なユーザーに最適です。
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