中古 KINETICS Megapure 6001 HC #9358271 を販売中

KINETICS Megapure 6001 HCは、完全に自動化された汎用性の高い構成で、高いスループットと優れたパフォーマンスを提供するように設計された高度なウェーハ処理装置です。このシステムには、高度な結晶化マルチノズル結晶増殖ユニットを備えた12インチ高電流メルト（HCCM）原子炉が含まれており、最大350°Cから最小300°Cまでの幅広い温度範囲で動作できます。さらに、12インチの高電流基板と加熱キャリアステージは、最大3つの12インチ基板を20 KJ/m2まで搭載できます。6001 HCはまた、完全なプロセス制御に必要な種子ストック、媒体、ドーパント、および熱制御液を正確に提供するインライン液体供給ユニットを備えています。密閉された熱室は、プロセス中に清潔さを提供し、450ワットの低熱拡散ヒーターで加熱されます。さらに、加熱された表面ステージにはクイックロック機が装備されており、ウェーハやキャリアの迅速な変更とアライメントを可能にします。このツールには、高精度な超高温ガスフローのための5桁の分解能制御を備えた超高感度マスフローコントローラ（MFC）と、多軸慣性フォースセンサーも含まれています。これらのセンサは、結晶成長中の自動温度および速度制御を可能にし、1時間あたり最大500個のウェーハの処理と生産を高速かつ高精度に行うことができます。6001 HCは、さまざまな安全性と環境機能を組み合わせて優れた性能を提供するように設計されています。ヒューマンマシンインターフェイス（HMI）の設計とファブツール、プロセス管理、検証、製造実行システムとの完全な統合により、本番環境での使いやすさを実現します。毒性モニタリング、フィルターおよび流体交換通知、プロセスバリエーション監視など、さまざまな特殊機能により、安全で効率的な作業環境を確保します。