中古 KINETICS MegaFlow II #9226730 を販売中

KINETICS MegaFlow IIは、ウェーハ加工用に設計された革新的なウェーハ加工装置です。8インチまでの幅広いウエハサイズに対応可能です。このシステムは、最先端のマルチステージ技術を使用して、フォトレジストストリップ、RTP、エポキシのバックフィリング、リードフレームめっきなどのさまざまなプロセスを実行します。このユニットは、最適な精度、再現性、機械的安定性、および精度のために設計されています。MegaFlow IIは、ドックからのウェハローディングから始まります。ウェーハは、オープンフロントまたはサイドマウントを介してロードすることができます。システムには、プロセス手順に先立ってウェーハ表面をクリーニングするためのプレクリーンステーションが装備されています。次に、ユーザーのニーズに応じて特定のプロセスを実行するプロセスステーションにウェーハを転送します。例えば、RTPプロセスは、ウェーハの温度を上げるために炉に排出される熱い排気ガスを利用します。加熱サイクル中、ウェーハはまた、温度を制御し、均一な熱分布を確保するために窒素または不活性ガスと混合されます。バックサイドプレート工程では、ホットガスモーターを使用してウェーハの周りに熱された窒素ガスを流し、均一な加熱を行います。KINETICS MegaFlow IIはまた、高精度のツールを使用して、各プロセスの後にウェーハを正確に測定し、最適な品質管理を保証します。このマシンは、オペレータが温度、圧力、ろ過などのパラメータを監視するのに役立つデジタルディスプレイを使用しています。このツールには、各機械操作のデータを格納するデータロギング機能も搭載されています。これは、プロセスのトレーサビリティを確保するのに役立ちます。最後に、生成された廃棄物は、組み込みの廃棄タンクで自動的に処分されます。排気アセットは、圧力と熱プロセスから生成された蒸気を自動的に排出します。結論として、MegaFlow IIは、ユーザーに多くの利点を提供する機能満載のウェーハ処理ソリューションです。それは最適な正確さ、再現性および精密を保障します；そして自動化されたプロセスは安全で、低い危険操作を保障します。すべての機能が提供されているため、ウェーハの製造に最も信頼性が高く、好ましいソリューションの1つであることは間違いありません。