中古 KERRY SC 1000CL #148528 を販売中

KERRY SC 1000CLは、産業用に設計された完全に自動化されたコンピューター制御ウェーハ処理装置です。幅広いウエハーの高速、効率的、正確な処理を提供するように設計されています。SC 1000CLは、さまざまなウェーハサイズと歩留まりに適した柔軟なプラットフォームを備えており、ウェーハ歩留まりを最大化するための高レートのスループットとマルチタスク機能を備えています。このシステムは、CMP （Chemical Mechanical Planarization）、ウェハクリーニング、研削とラッピング、欠陥補償プロセスに使用できます。それにセットアップおよび操作のための使いやすいメニューインターフェイスがあります。KERRY SC 1000CLユニットのリアルタイムスループットは、処理速度と効率を最大化します。自動化されたプロセス開始、マテリアルハンドリング、キャリブレーションにより、1時間あたり最大5,000個のウェーハを処理できます。高速設計により、最大歩留まりレベルでの生産が可能です。SC 1000CLツールは、完璧なウェーハアライメントと配置精度を確保するために設計された精密なロボットモーションコントロールを備えています。パターンレイアウトとCMPクリアランスパラメータの両方を定義するために使用できる完全にプログラム可能な圧力マトリックスを備えています。KERRY SC 1000CLは、表面条件、チューブ壁ジオメトリ、欠陥サイズを精密に測定するために設計されたセンサアセットを備えています。モデルに監視および制御のための操作装置への容易なアクセスのためのタッチ画面が付いている大きいLCD表示があります。SC 1000CLには、プロセス制御とトレーサビリティに使用できるデータロギングシステムも内蔵されています。KERRY SC 1000CLウェーハ加工ユニットは、産業用ウェーハ加工に最適です。それは非常に効率的で、非常に正確で、速く、完全な性能のための精密ロボットコントロールを提供します。プラットフォームはさまざまなウェーハサイズと歩留まりに調整可能で、柔軟な設計はセットアップと操作が簡単で、組み込みのデータロギング機能はプロセス制御とトレーサビリティを維持するのに役立ちます。