中古 KERRY SC 1000CL #148527 を販売中

KERRY SC 1000CLは、半導体ウェーハ製造における歩留まり、コスト、スループット、および安全性を向上させるために、さまざまなプロセス能力を備えた自動ウェーハ処理装置です。このシステムは、ロータリーウェーハ処理チャンバとホットウォール封じ込め装置を組み合わせています。封じ込め装置の内部では、温度、湿度、粒子レベルが1立方フィートあたり10未満に正確に制御されます。これにより、汚染物質がプロセスチャンバーに侵入できなくなり、繊細で敏感なウェーハ表面が汚染、機器の損傷、歩留まり損失から保護されます。SC 1000CLはまた、金属のエッチング、酸化、窒化、沈着などのフレキシブルクリーニング、オールガスおよびALDプロセスなどの蒸気相プロセスを実行するための統合反応チャンバーを提供しています。すべての必要なガスはプロセス部屋に容易に供給され、効率的で反復可能なプロセス実行を保障します。また、加熱ウェハサポート面とフローティングウェハペデスタルを備え、800°Cまでの温度処理と4°C ±の再現可能な温度均一性を備えています。KERRY SC 1000CLは、量産プロセスとハイエンド半導体製品の生産のために設計されています。また、温度、湿度、粒子制御の厳密な制御が必要な安全に重要なアプリケーションでも使用できます。このユニットの高度なオートメーションコントローラとソフトウェアは、半導体業界の厳しい仕様と安全要件を満たすためにエンジニアを支援します。また、SC 1000CLは遠隔監視とデータ収集を可能にし、長期的なプロセス制御プロジェクトに最適なソリューションです。この機械はまた、ISO9001でISO14001な品質と環境基準で認定されており、安心と世界中の製品の受け入れを向上させています。結論として、KERRY SC 1000CLツールは、高度で自動化されたウェーハプロセス資産であり、さまざまな製造プロセスに対して高いレベルのプロセス再現性と制御を提供します。半導体業界における安全に重要なアプリケーションとプロセス制御のための優れたソリューションです。