中古 KERRY SC-1000 #9183721 を販売中

KERRY SC-1000は、最高レベルの精度と信頼性を必要とするお客様のために設計された精密ウェーハ加工装置です。このシステムは、プロセスチャンバー操作、サンプル転送、および製品ハンドリング機能を提供するフル機能のウェットプロセスユニットです。モジュラー設計により、さまざまな製品要件を満たすように構成することができます。SC-1000には、Pulse Blasterコントローラとソフトウェアパッケージが含まれており、ウェーハ処理パラメータの制御と監視を可能にします。また、低レベル液体測定用のローフロースイッチング、ウェットプロセスソリューションの熱管理、バッチプログラミング、成長監視などの安全機能も内蔵しています。このマシンは、標準的なウェーハサイズと非標準サイズの両方を処理することができます。精密なウェーハチャックツールと、プロセスステップから別のプロセスにウェーハを移動するためのプログラム可能なロボットアームを備えたウェーハハンドリングアセットが含まれています。ウエハハンドリングモデルは、基板洗浄装置を内蔵しています。KERRY SC-1000は、リソグラフィ、エッチング、酸化、拡散、薄膜蒸着など、さまざまなプロセスを提供しています。精密エッチング・リソグラフィ加工が可能で、高精度です。ウエハクリーニングシステムのため、酸、フッ素、IPAソリューションなど、さまざまなクリーニングメディアを使用できます。このユニットは、Si、 GaAs、 SiGe、 CdS、 Geなどのさまざまな種類の基板と互換性があります。SC-1000は高い生産性のために設計されています。モジュラー設計により、実行中のプロセスを素早く簡単に変更でき、研究、製品開発、プロトタイピング、生産に最適です。また、カスタマイズされたプロセスコントロールカメラなどのオプションを装備することができ、ユーザーは特定のプロセスパラメータを選択し、コントロールパネルからプロセスを監視することができます。KERRY SC-1000は、信頼性と再現性の高い結果を提供します。機械は強さおよび耐久性を提供するためにステンレス鋼フレームの組み立てられ、ぬれたプロセスツールは密封され、漏出なしであるように設計されています。Pulse Blasterコントローラは、信頼性の高い操作のためのデジタル信号処理と高度なアルゴリズムを実行します。SC-1000は、精密ウェーハ加工の究極のソリューションです。これは、信頼性、再現性、および最大性能のために設計されています。このアセットは、精度が不可欠なアプリケーション向けに設計されており、モジュール設計と高度な制御オプションにより、製品開発と生産に最適です。