中古 JEOL TAM200XM-S #293649787 を販売中

JEOL TAM200XM-Sは、集積回路のプロトタイピングと生産の両方に使用される高度な、他のウェーハ処理装置です。ウェーハ加工ツールの大手メーカーであるJEOLが設計したTAM200XM-Sは、最大200mmのウェーハに対応できる自動化システムです。これは、複数のプロセスチャンバを介してウェーハを運ぶために垂直、単段輸送を利用しており、ユーザーはさまざまな基板に対して一貫して正確な操作を行うことができます。エッチング、蒸着、イオンインプラント、フォトリソグラフィックパターニング、熱酸化など、さまざまなユーザー操作を備えています。また、JEOL TAM200XM-Sでは、温度、圧力、流量の高度な制御方法とオプションを提供しており、必要な工程の高度な調整が可能です。また、レーザー干渉計や基板ヒーターなどの各種サポート機器の統合も可能です。このマシンには統合されたCVC+プラットフォームがあり、単一のコントロールパネルからすべてのプライマリウェーハ処理機能にアクセスできます。CVC+は、特定のレシピのカスタマイズ、サイクルタイムの設定、適切なアライメントのチェック、歩留まりの計算にも使用できます。さらに、CVC+は、各ウェーハの処理中に発生した問題をトラブルシューティングするためのツールの健全性の監視、メンテナンスのスケジューリング、データの分析が可能です。最後に、TAM200XM-Sはまた、光学センサアセット（OSS）やウェットプローブなど、さまざまな高度な計測機能を使用しています。ウェットプローブはウェーハ表面に密度の高いパターンで幅広い測定を提供します。これとJEOL TAM200XM-Sのアップグレード可能なソフトウェアを組み合わせることで、ユーザーは最新の業界動向を把握することができます。したがって、TAM200XM-Sは、プロトタイピングと集積回路の生産の両方に高度な自動処理ソリューションを提供します。