中古 JCM RC 100 #9103695 を販売中

JCM RC 100は、幅広い部品の製造に使用されるウェーハ加工装置です。このシステムは、スラリー、プラズマ、ウェーハのさまざまなサイズと構成のための写真または化学処理を処理することができます。丸型ウエハと角型ウエハの両方を同一ユニットで処理することができます。ウェーハの積み降ろしを容易にする全自動トランスポート機構を備え、移動の柔軟性を最大限に引き出します。ウェーハは工具内の特殊加工チャンバーに搬送されます。処理チャンバー内には、洗浄、研磨、エッチング、めっきなど、最大6つの加工ステップが組み合わされています。アセットには、ウェーハの処理をさらに制御するための4位置発振器アセンブリも含まれています。このオシレーターアセンブリは、最大角度範囲が8。5°で、毎分60の位置でポイント・ツー・ポイントから発振することができます。RC 100モデルの他の特徴は、ウェーハを均一に処理するためのマイクロプロセッサ制御ディフューザーと、プロセス全体を正確に制御するための複数のプロセス制御ユニットを備えています。装置の回転キャリアはさらに、均一なウェーハ処理を保証するのに役立ちます。この回転キャリアは、一度に最大8個のウェーハを保持し、最大2000RPMを回転させます。また、異なるウェーハサイズに対応し、ウェーハの各バッチ全体で均一な処理を可能にするための高さの設定も調整可能です。また、内部温度制御ユニットを内蔵しており、工程ごとに温度制限を設定することができます。JCM RC 100マシンは、オペレータの安全性とウェーハの品質を確保するために、複数の安全システムを備えています。これには、圧力監視ツール、空気中の粒子を制御するための排気資産、および潜在的な有害物質の流出を避けるためのオーバーフロー保護が含まれます。RC 100は、高度な自動ウェーハ処理モデルであり、高い柔軟性、精度、安全性を提供します。スラリー、プラズマ、写真、化学処理に対応し、ウェーハのサイズや構成が異なるほか、全自動の搬送機構と回転キャリアの調整が可能です。複数のプロセス制御ユニットと安全システムを導入することで、オペレータは常に一貫した高品質な結果を得ることができます。