中古 JAPAN ANALYTICAL INDUSTRY / JAI LC908 #293603433 を販売中

JAPAN ANALYTICAL INDUSTRY/JAI LC908は、JAIの最先端ウェーハ加工装置です。高性能な材料、堅牢な構造、高度な技術を組み合わせた最適化された設計が含まれており、統合されたウェーハ処理能力を保証します。特長は、専用の負荷、蒸発前、反応および冷却段、0。1〜700 Torrの高精度圧力制御範囲、および最適化されたプロセス制御のための設定可能な圧力および温度設定を備えた多目的な4チャンバー構成です。これらの機能は、直感的なヒューマンマシンインターフェイスと高度なオートメーションと組み合わされ、一貫した再現可能な操作と信頼性の高い高品質の結果を実現します。JAI LC908は、大規模なウェーハ容量と高解像度イメージングを備えた高いスループット機能と、ダイレクトプロセスとレシピ開発のための使いやすいプラットフォームを提供します。このシステムは、最適な歩留まりのためにスムーズで一貫した処理を行う幅広いウェーハおよび材料向けに設計されています。主な特徴は、赤外線技術を利用した高解像度のサーマルイメージング、超純酸素制御を備えた不活性環境、クローズドループ温度および圧力制御、動的プロセスモニタリングおよび分析機能です。JAPAN ANALYTICAL INDUSTRY LC908独自の設計により、0°C〜400°Cの温度範囲で、難削材や高温ウエハプロセスに最適です。また、サーモグラフィー反射率を備えたサーマルイメージングは、温度をリアルタイムで監視および制御することができ、最適な性能を保証します。クローズドループ式圧力制御ユニットにより真空を維持し、精密なプロセス制御を可能にします。さらに、機械の温度、流量、圧力は、すべて同じチャンバー内で調整することができます。その他の機能には、高速サイクリングを備えた自動ロード/アンロードツール、および個々のウェーハの効率的なロード、アンロード、および輸送を可能にする統合されたトラック/カートアセットがあります。全体として、LC908はパワフルでユーザーフレンドリーな革新的で包括的なウェーハ処理モデルです。高精度の材料と高度なエンジニアリングの組み合わせは、温度、流量、圧力設定の範囲で一貫した反復可能な結果を提供します。直感的な制御、信頼性の高いプロセス監視、自動化された操作により、この機器は最新のウェーハ製造に最適なソリューションです。