中古 JA SUNG ST-111 #9215488 を販売中

JA SUNG ST-111は、半導体製造用に設計されたウェハ加工装置です。堅牢なウエハハンドリング技術とプロセス制御を備え、信頼性の高い歩留まりを提供します。これは、片面と両面の両方のウェーハ処理が可能です。このシステムは、裏面研削、エッチング、スパッタリング、または計測検査用に構成することができます。自動化されたウェーハフィーディングユニットは、コンタミネーションを最小限に抑えながら、厳密に制御されたフラックスレベルとフィードレートを提供することで、高いスループットを実現します。このマシンには複数のプロセスチャンバーが装備されており、マルチモジュールアプローチを使用してさまざまなプロセスを並列に実行できます。これにより、プロセスのダウンタイムを最小限に抑えながら、さまざまな化学物質、温度、圧力を利用することで、スループットを向上させることができます。また、現場でリアルタイムのプロセス制御と診断を可能にする高速サンプリングツールを備えています。温度制御されたチャンバーは、熱の不均一性を低減し、プロセスと歩留まりの損失を防止します。この資産には、ウェーハの詳細な分析を提供する高度なインラインメトロロジーユニットが含まれています。これにより、ウェハコーティングの均一性が確保され、プロセス歩留まりが最適化されます。このモデルは完全に統合された制御装置を備えており、遠隔操作を可能にし、データロギングと監視のための他のシステムと統合することができます。また、高度に構成可能であり、特定のプロセス要件に最適化することができます。ST-111は大量生産作業に最適です。低コストで高いスループットとプロセス歩留まりを実現し、半導体ウェーハの製造に最適です。その幅広い構成の可能性により、幅広い用途やニーズに適しています。堅牢な設計とプロセス制御により、このシステムは、最も複雑なデバイス製造プロセスの歩留まりを最大化するのに役立ちます。