中古 INMATEC IMT-PN 120 #9054107 を販売中

INMATEC IMT-PN 120は、高度な半導体処理用に設計された包括的で高精度なウェーハ処理装置です。最大300mmのウェーハを並列処理できるため、生産スループットを最適化できます。ユニットは、それぞれが特定のタスクを実行する個々のモジュールで構成されています。各モジュールは高精度の仕事のために設計され、一貫した操作のために最大限に活用されます。IMT-PN 120の主なウェーハ処理モジュールは、マルチヘッド高度メッキチャンバーです。このチャンバーは、最大3つのウェーハを並列に処理することができ、要求の厳しいエッチングおよびクリーニング機能に対応するように設計されています。ケミカルバスの流れを正確に制御するために、ペリスタルポンプのセットを使用して、処理されるウェーハの正確なめっきを可能にします。コーティングがウェーハに均等に加えられることを保障するのに調節可能なめっきの頭部が使用されています。INMATEC IMT-PN 120にはマルチステージクリーナーモジュールも搭載されています。このモジュールは、ウエハーから汚染粒子を徹底的に除去するために超音波攪拌と化学洗浄剤の組み合わせを利用しています。このモジュールはまたクリーニングプロセスの精密な制御を可能にする調節可能なノズルの設計を含んでいます。IMT-PN 120には専用のウェーハマップモジュールが装備されており、ウェーハ上の重要な基板を見つけるために使用されます。このモジュールは、高精度のレーザースキャンを使用してウェーハをマッピングし、ウェーハの重要な領域を特定してマークします。このマシンには、メッキ前にウェーハをエッチングするために使用されるグラファイトアッシャー工具も含まれています。加熱抵抗素子を使用しており、ガスプラズマと組み合わせると、ウェーハを制御された効率的な方法でエッチングします。INMATEC IMT-PN 120の最終モジュールはウェーハ放電モジュールです。このモジュールは、処理後のウェーハの迅速かつ簡単な除去のために設計されています。このモジュールは、ウェーハを取り外し可能なトレイに優しく輸送する機構を備えており、資産からウェーハを手間をかけずに取り外すことができます。全体的にIMT-PN 120は、高度な半導体処理に適した高度で高精度なウェーハ処理モデルです。特定のタスク用に設計された個々のモジュールを使用することで、さまざまなウェーハ処理タスクに対して一貫した結果を提供できるため、高性能ウェーハ処理システムをお探しのお客様に最適です。