中古 IBM LTT 125 Lotus #9013332 を販売中

IBM LTT 125 Lotusは、IBMのウェーハ製造の自動化と精密チューニングに使用されるウェーハ処理装置です。これは、プロセス全体を最初から最後まで制御し、高いレベルの品質管理とコスト効率を確保するように設計されています。このシステムは、ウェーハの蒸着やエッチングから欠陥の検査や洗浄まで、必要なプロセスをすべて自動化する独自のソフトウェアで構成されています。このユニットはまた、特定のウェーハ要件に適したパラメータとシーケンスを実行することができ、生産性の向上に役立ちます。LTT 125 Lotusは、成膜およびエッチング処理を制御するために多数のオートメーション部品を使用しており、高いスループットと精度を提供します。これには、各ウェハの表面における正確な均一性を保証する強力な自動輪郭成膜制御機能が含まれています。ソフトウェアは、非常に汎用性とユーザーフレンドリーであるIBM 5シリーズのソフトウェアの最新バージョンに基づいています。マシンには、既存の堆積とエッチングのレシピのライブラリへの直接アクセスも付属しており、必要に応じて変更または使用することができます。このツールは、ドーピングおよび酸化プロセスにダイオードレーザーを使用し、欠陥をきれいにするためにイオン化ビームを使用します。また、複数の診断ツールを使用して、生産中に発生する可能性のある問題を検出および分析します。レーザダイオードからのデジタルデータを処理し、分析してエンドウェーハ製品の品質を正確に維持します。このアセットには、パターンの書式設定やウェハーマッピングなどの機能も含まれており、ユーザーは複雑なパターンや通常の表面トポグラフィーを開発することができます。さらに、IBM LTT 125 Lotusには、生産全体の品質を向上させるための他の便利なツールも装備されています。地形などの特性を調整するために使用できるレーザトリミングツールや、ウェーハ全体にガスを均等に拡散させるガス圧力制御機能などがあります。さらに、潜在的な危険を排除するための完全な組み込みプロセス腐食制御と安全規定を備えています。全体として、LTT 125 Lotusは、自動化された品質管理のために設計された強力で信頼性の高いウェーハ処理モデルです。さまざまな高度な機能とツールを備えているため、ラボやウエハの生産環境に最適です。優れた精度とスピードで、IBM LTT 125 Lotusは、ウェーハ処理プロセスの合理化と改善に役立ちます。