中古 HONDA / HITACHI HUS-5 #9354061 を販売中

HONDA/HITACHI HUS-5は、パッシベーション、アニーリング、フォトレジストアッシング、誘電エッチングなどのプロセス用に設計されたウェハ加工装置です。1時間で最大600個のウェーハを処理できる高性能マシンです。機械はまた圧力、温度および時間のようなすべてのプロセスパラメータを制御することができます。マシンは、ユーザーの安全とプロセス制御を確保するために、複数の安全インターロックで構築されています。温度制御は0。1°Cの正確さおよび350°Cの最高操作の温度のPID制御によって行われます。さらに、このマシンには、問題が発生したときに迅速にプロセスを停止することができるデュアル方向のホットエアナイフが装備されています。また、自己検査機能が内蔵されており、操作中に発生する可能性のある問題を検出、警告、および修正することができます。また、UV・マイクロ波技術を駆使し、よりクリーンな処理環境を実現する高度なクリーニングシステムを搭載しています。このユニットは、デュアルゾーンリフレクターランプとヒーター排気装置によってさらに強化され、再汚染を防ぎます。この機械はまた、高性能プラズマチャンバーで設計されており、チャンバーを清潔に保ち、プロセスを再現可能かつ一貫したものにするのに役立ちます。結果の均一性を確保するために、機械には調整可能なスキャン電極、シャッターツール、および独立した温度制御アセットが装備されています。これらの機能により、加工された各ウェーハのパラメータを正確に制御できます。最高品質を維持するために、ウエハ加工機には統合ソフトウェアモデルも追加されています。このソフトウェアは、効率的で直感的な制御を可能にするユーザーフレンドリーなインターフェイスのセットを持っています。また、複数のプログラムを同時に実行できるため、ユーザーは生産性と結果を最大化できます。結論として、HONDA HUS-5は、1時間で最大600個のウェーハを正確かつ確実に処理できる高性能ウェーハ加工機です。温度や時間制御などの安全機能を内蔵し、高度な洗浄システムと組み合わせて、ユーザーは一貫した高品質の結果を得ることができます。