中古 HITACHI PCV #9107491 を販売中

HITACHI PCV （Precision Chemical Vapor Deposition）は、半導体部品などに使用されるウェーハ上の薄膜を製造するために使用されるウェーハ加工装置の一種です。化学蒸着（CVD）のバリエーションであるこの技術は、金属、セラミック、またはプラスチック材料の薄い層を基板上に製造する場合、高い精度と再現性を提供します。PCVシステムは、加熱配送管を介してチャンバーに供給される高圧水素などの原子源を使用することから始まります。このガスは、高周波源によって暖かい電場によってプラズマに変換されます。このプラズマは、希望する材料の薄膜を基板に堆積させるために使用されます。このプロセスでは、圧力、温度、ガス混合物を調整して、材料の最適な特性を決定することができます。材料が堆積される速度は、電流を調整することによって制御され、材料の層が非常に薄くなるようにします。材料の薄膜が堆積されると、半導体アプリケーションで適切に使用するために、いくつかの他のステップが必要になります。フィルムは、汚染物質を除去するだけでなく、特定の寸法にエッチングするために、いくつかの洗浄手順を経る必要があります。堆積される材料によっては、研磨や拡散などの他のステップが必要になる場合があります。HITACHI PCVユニットを使用する利点は、精度と再現性が半導体などの精密アプリケーションに適していることです。精度と再現性により、レイヤーを一貫して再現可能な厚さに堆積させることが可能です。これは半導体部品にとって特に重要です。PCVマシンのもう一つの重要な側面は、その耐久性です。このツールは頑丈で、高温などの環境条件の変化に耐えるように設計されており、その精度や再現性に著しい劣化はありません。この堅牢性は、半導体アプリケーションでの使用に不可欠であり、長期にわたって高い信頼性を維持する必要があります。結論として、HITACHI PCVアセットは、精度と再現性が優先されるアプリケーションに最適です。金属、セラミックス、プラスチックなどの薄膜を基板に付着させることで高い精度を発揮し、環境負荷に耐えうる耐久性を備えています。