中古 HILGER & KERN Vario-mix A1 #9134137 を販売中

HILGER&KERN Vario-mix A1は、完全なウェーハ処理、ベーキング/アニーリング、ドーピングに必要なすべてのプロセスパラメータを正確に制御する自動ウェーハ処理装置です。このシステムは、ハイエンド半導体ウェーハの効率的で信頼性の高い生産のために設計されています。Vario-mix A1は、トレイごとに最大40個のウェーハを一度に収容できる完全自動ハンドリングユニットを備えています。ウェーハは表面への損傷の危険なしで穏やかに移されます。機械は高度な制御アルゴリズムで設計されており、再現性と信頼性の高いプロセスを保証します。このツールのグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）により、プロセスパラメータを簡単にプログラムおよび調整でき、ユーザーは最適な設定をすばやく決定できます。HILGER&KERN Vario-mix A1は、業界をリードする結晶成長とドーピングプロセスを提供します。統合された高出力インパルスアニーリング（HPA）アセットにより、最大15個のウェーハを一度に均一で信頼性の高いアニーリングが可能です。遅延レーザー加熱を備えた高度なプロセス制御モデルにより、ウェハは徐々に冷却され、熱衝撃のリスクがなくなります。視覚化されたレイヤリング制御とオンボード診断により、HILGER&KERN機器は最高品質の製品を提供します。HILGER&KERNシステムは、液体ドーピングおよび蒸気ドーピング法を含むドーピング用の幅広いプロセスチャンバーと自動汚染検査器をサポートしています。また、ウェーハの正確な配置と位置決めのための高度なモニタリングシステムも提供しています。最後に、Vario-mix A1は、潜在的なプロセス汚染を防ぐために真空漏れ検出器を備えています。HILGER&KERN Vario-mix A1は、高信頼性で安全で使いやすいウェーハ加工機で、常に高品質な半導体ウェーハを製造するよう設計されています。このツールは、効率を最大化するための幅広い高度な機能とプロセス制御オプションを提供し、最大限の歩留まりと最適化された生産時間を実現します。