中古 HEISE C #9008204 を販売中

HEISE Cは、株式会社HEISEが開発した自動ウェーハ加工装置です。このシステムは、高精度処理を低コストで提供するように設計されています。このユニットは、直径12インチまでのウェーハを処理することができます。高精度・高精度で、3ミクロンの再現性を実現します。ファインパターンエッチングや精密マイクロエレクトロニクスデバイス製造などのプロセスに適しています。Cは、ロープロファイルを備えたコンパクトで輸送可能なマシンであり、中断を最小限に抑えた既存の生産ライン環境での容易な統合と実装を可能にします。それに頑丈な、陽極酸化されたアルミニウム上部ハウジングおよび上面のための腐食抵抗力があるハウジングがあります。ツールの中心には、高精度の二軸回転位置決めテーブルがあります。これにより、ウェーハの一貫した正確な回転とアライメントが可能になります。テーブルは、低ノイズ、高トルクブラシレスサーボモータによって駆動されます。アセットには、2つの独立した下位レベルの処理ステップも含まれています。1つ目は、ウェットエッチング処理ステーションです。これにより、正確で反復可能なアルカリベースのエッチング処理が可能になります。また、反応性イオンを使用してドライエッチングプロセスを実行することもできます。2番目の処理ステップは、不動態化層アプリケーションステーションです。このステーションは、高性能で低温耐性の保護シリコン薄膜とネットワークを適用することができます。HEISE Cには、露出したウェーハ表面の保護カバー、最適化された基板およびプロセス流体管理モデル、およびクローズドループ・プロセス制御装置などの周辺機能とオプションも含まれています。結論として、Cはコンパクトで費用対効果の高いパッケージで高いレベルの性能と精度を提供します。研究と生産の両方のアプリケーション向けに設計されており、今日のウェーハ処理装置に対する需要の高まりに理想的なソリューションです。