中古 HEATHWAY System #9028775 を販売中

HEATHWAY Equipmentは、ユーザーが高品質の半導体製品を高効率で生産できる多機能ウェーハ処理システムです。このHEATHWAYの単位は最も一貫した、信頼できる結果を提供します。機械には、ウェーハハンドリングロボット、ウェーハボンディングチャンバー、クリーニングヒースウェイツール、熱/機械加工チャンバーの4つの基本コンポーネントがあります。ウェーハハンドリングロボットは、処理ヘッドに正確にウェーハを配置するように設計されています。衝突防止機能も搭載しています。ウェーハボンディングチャンバーは、真空補助プロセスを使用してウェーハを確実に結合し、均一性と再現性を確保します。クリーニングアセットは、高効率フィルターとセンサーを使用して、プロセス関連の環境汚染を低減します。最後に、熱機械加工チャンバーは、結晶成長、堆積、ドーピング、およびその他のプロセスを正確に制御します。HEATHWAYモデルのアーキテクチャは、メンテナンスコストを低く抑えるように設計されています。複数のレベルのオートメーションを使用して、操作をグラフィカルユーザーインターフェイスを介して監視および調整することができます。機器はモジュラーコンポーネントで構築されており、ユーザーは簡単にその機能をアップグレードして拡張することができます。ヒースウェイシステムには、緊急シャットダウンユニットやアクティブログインヒースウェイマシンなど、幅広い安全機能が搭載されています。これは、850°Cまでの温度を処理することができ、ヒ素ガリウムやシリコンなどの材料を処理することができます。HEATHWAY Assetは、最大12インチのウェーハを処理でき、一度に最大6つのウェーハを処理できます。また、さまざまなモニタリングシステムやインターフェースを搭載しているため、ウェハの進捗状況を常に把握することができます。HEATHWAY Equipmentは、ウェーハ加工の効率的かつ効果的なシステムであり、ユーザーに高品質の半導体製品を優れた効率で提供します。高度な設計機能により、一貫した信頼性の高い結果を提供し、メンテナンスコストを最小限に抑えることができます。